大塚电子（苏州）有限公司主要销售用于光学特性评价检查的装置。其装置用于在LED、 OLED、汽车前灯等的光源照明产业以及液晶显示器、有机EL显示器等平板显示产业以及其相 关材料的光学特性评价检查。欢迎新老客户来电咨询！
测量示例：
SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚测量
半导体晶体管通过控制电流的导通状态来发送信号，但是为了防止电流泄漏和另一个晶体管的
OPTM厂家
大塚电子（苏州）有限公司主要销售用于光学特性评价检查的装置。其装置用于在LED、 OLED、汽车前灯等的光源照明产业以及液晶显示器、有机EL显示器等平板显示产业以及其相 关材料的光学特性评价检查。欢迎新老客户来电咨询！
测量示例：
SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚测量
半导体晶体管通过控制电流的导通状态来发送信号，但是为了防止电流泄漏和另一个晶体管的电流流过任意路径，有必要隔离晶体管，埋入绝缘膜。 SiO 2（二氧化硅）或SiN（氮化硅）可用于绝缘膜。 SiO 2用作绝缘膜，而SiN用作具有比SiO 2更高的介电常数的绝缘膜，或是作为通过CMP去除SiO 2的不必要的阻挡层。之后SiN也被去除。 为了绝缘膜的性能和精准的工艺控制，有必要测量这些膜厚度。
膜厚仪是一种比较精密的监测设备，它在平时的使用中对于精准度的要求很高，但是还是会有误差的现象发生，除了仪器本身的一些故障以外，环境因素也是造成误差的一大“元凶”。
影响膜厚仪测量的的客观因素
耦合剂对膜厚仪的影响。耦合剂是用来排除探头和被测物体之间的空气，使超声波能有效地穿入工件达到检测目的。如果选择种类或使用方法不当，将造成误差或耦合标志闪烁，无法测量。因根据使用情况选择合适的种类，当使用在光滑材料表面时，可以使用低粘度的耦合剂；当使用在粗糙表面、垂直表面及顶表面时，应使用粘度高的耦合剂。
（作者： 来源：）
