具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。刷胶铺贴地板时,适宜的气温为15~35℃,相对湿度小于70%,用橡皮经散打使之贴实,踢脚部位从地面上翻贴至墙面瓷砖下口,成活后略缩进于墙面,铺贴后24h内禁止上人。直径100 um的硅
十万级洁净室
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。刷胶铺贴地板时,适宜的气温为15~35℃,相对湿度小于70%,用橡皮经散打使之贴实,踢脚部位从地面上翻贴至墙面瓷砖下口,成活后略缩进于墙面,铺贴后24h内禁止上人。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
研究所或者企业当中的实验室,大多都会铺设pvc地板,它的铺装简单造价也低,同时会像普通的地砖那样自己产生粉尘。再加上没有任何缝隙存在,清洁起来会很方便。PVC地板能达到实验室的要求:的实验室对于内部卫生的要求都是非常高的,因为灰尘会对实验的进行还有结果造成不可忽视的影响。回风管及回风口处理:图纸设计为侧墙面回风,为了保证墙面平整,不增加凹凸面,将回风立管移至手术室的两斜对角处。特别是化学或者生物相关的实验室,一点点的灰尘都可能会造成产物的污染,因而也对室内的装修材料提出了很高的要求。
战后半个世纪是现代科技高速发展的时期,人类经过半个世纪的努力,无论在农业、工业、、生物、宇宙探索、环境以及基本理论研究等方面,都取得了伟大的成就。材料的高纯度、产品的及高可靠性是这一时期科技发展的特点。超微细加工、装配和测试,对诸如空气洁净、防微振、防电磁干扰、低噪声以及对超纯水、超纯气体等的严格要求,使由此产生的环境控制学得到了迅速发展。翻边应是平的,靠近法兰,不应盖上螺丝孔,四个角应平整,不应有开口,如果法兰上有裂缝或孔,应涂上密封胶,以避免漏气。控制微振动即防微振,是环境控制的一个重要组成部分。
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