广州帕纳光电科技有限公司----安捷伦分子泵公司；
检查滚珠轴承，如内外套磨损、旷动、滚珠磨损或表面有斑点都要更换。尚可使用的用或煤油将轴承清洗干净后涂黄油保存。
检查叶轮上是否有裂痕或小孔，叶轮固定螺母是否松动，如有损坏应修理或更换。检查叶轮减磨环处间隙，如超过规定值，应修理或更换。若水泵和管道都不拆卸时，应用盖板将出口封好，以防杂物进入。
安捷伦分子泵公司
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检查滚珠轴承，如内外套磨损、旷动、滚珠磨损或表面有斑点都要更换。尚可使用的用或煤油将轴承清洗干净后涂黄油保存。
检查叶轮上是否有裂痕或小孔，叶轮固定螺母是否松动，如有损坏应修理或更换。检查叶轮减磨环处间隙，如超过规定值，应修理或更换。若水泵和管道都不拆卸时，应用盖板将出口封好，以防杂物进入。
磁场屏蔽出现的问题
旋转的转子在磁场中产生涡电流，将使转子发热，将产生如下问题：
①、转子与定子间隙越来越小，造成碎片；
②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁；
③、由于发热会减弱铝材料的强度，造成碎泵；
④、转子发热，改变转子和轴的相对位置，造成碎泵。
分子泵在磁场中运转时，径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上，大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。
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分子泵在半导体机械设备中的运用
在半导体材料生产加工加工工艺中，分子泵广泛运用于光刻技术、塑料薄膜堆积机器设备、离子注入机器设备、离子注入机等主要设备。安捷伦分子泵公司
光刻技术是生产制造规模性集成电路芯片的关键机器设备，生产制造和维护保养必须高宽比的电子光学和电子工业基本，全世界仅有数生产厂家把握，因而光刻机价格价格昂贵。3）复合分子泵它是由两个涡轮泵和牵引泵串联而成的复合分子真空泵。光刻技术光刻技术全过程务必在高真空中完成，缘故是极紫外线很娇气，在空气中非常容易耗损。另外，在光刻技术全过程中，机器设备的姿势时间误差以皮秒激光计，这对磁悬浮分子泵的震动值规定极高。（注：皮秒激光=兆分之一秒）安捷伦分子泵公司
离子注入机器设备
离子注入是用有机化学或物理方法有选择从硅单晶表层除去不用原材料的全过程。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。离子注入的基础总体目标是在点胶的硅单晶上恰当地拷贝掩膜图型。智能化的干法刻蚀机器设备包含繁杂的机械设备、电气设备和真空设备，另外装有自动化技术的离子注入终点站检验和操纵设备。离子注入运用工作状况繁杂，清理能力差，充进高纯气体类型多种多样，因而必须解决的干泵和磁悬浮分子泵。安捷伦分子泵公司
离子注入机器设备：离子注入就是指在真空下，当电子束射向固态原材料时，遭受固态原材料的抵御而速率渐渐地降低出来，并后滞留在固态原材料中的状况。分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同，利用了动量传递原理，使分子定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。离子注入是半导体材料表层周边地区开展夹杂的关键技术性，其目地是更改半导体材料的载流子浓度值和导电性种类。离子注入机是集成电路芯片生产制造工艺流程中的主要设备，必须高清理的真空，以确保正离子夹杂浓度值和使用量的性。安捷伦分子泵公司
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