石墨坩埚是现在炼金时经常会看到的设备，这种设备不仅可以保证您在使用的时候不会出现问题，而且在安全性能上面也是非常的出色，大家在选择石墨坩埚的时候尽量要选择比较正规的石墨坩埚厂家，这样才能保证您在使用的时候石墨坩埚不容易出现问题，而且在石墨坩埚价格方面也会比较便宜，那么下面就有我来为大家介绍一下石墨坩埚在使用的时候应该注意哪些，让您在使用石墨坩埚的时候不会出现使用方法的错
石墨零件设计
石墨坩埚是现在炼金时经常会看到的设备，这种设备不仅可以保证您在使用的时候不会出现问题，而且在安全性能上面也是非常的出色，大家在选择石墨坩埚的时候尽量要选择比较正规的石墨坩埚厂家，这样才能保证您在使用的时候石墨坩埚不容易出现问题，而且在石墨坩埚价格方面也会比较便宜，那么下面就有我来为大家介绍一下石墨坩埚在使用的时候应该注意哪些，让您在使用石墨坩埚的时候不会出现使用方法的错误而导致的问题。
石墨舟推舟系统：石墨舟推舟系统采用软着陆的方式，即将石墨舟放到反应管内部后，石墨舟推舟机构将退出，自动门关上。载片舟是经特殊设计，在X轴、Y轴、Z轴三个方向可微调，再经精加工而成。它直接影响到电场的分布、等离子的产生、气流的走向、膜的。成膜压力甚至气体的流量都与此结构有关，所以推舟系统是本设备的核心部件。 管式PECVD系统：即使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积。
1>.一般石墨舟在运行 100 至 120 次后就应该对石墨舟进行清洗,石墨舟清洗次数达到后，硅片会发红。 这是因为舟上的 SiN 会随着运行次数的增加而增加，影响舟的正常使用。
2>.在室温条件下 (<40°C)，将舟放入32升HF酸中，大约高过石墨舟1.5cm左右。
浓度是 10%， 腐蚀时间为 10-12小时。低浓度条件下，腐蚀槽会被产生的 SiN 颗粒污染，因此需要进行定期的过滤维护。 浓度高于 10%会对操作人员造成危险。其他部件应该被分开放入腐蚀槽内并且不可互相接触，这样 HF 酸就可以腐蚀到任何部位，这对于石墨连接块而言更为重要。
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