湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
离子渗氮研究所生产的各类中高1档辉光离子渗氮炉设备已在航空、发动机曲轴、模具、轴承、工具、阀门、齿轮、工程机械、建筑机械基础件等各机械行业及大中院校得到广泛的应用,部分产品出口到东南亚
钢套离子氮化炉
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
离子渗氮研究所生产的各类中高1档辉光离子渗氮炉设备已在航空、发动机曲轴、模具、轴承、工具、阀门、齿轮、工程机械、建筑机械基础件等各机械行业及大中院校得到广泛的应用,部分产品出口到东南亚、俄罗斯、美国等和地区。
具有高能量的氮离子轰击工件表面,由动能转化为热能加热工件,同时氮离子吸取电子还原成原子被工件表面吸收并向内层扩散。当电源输出脉冲的重复频率很低(例如几百HZ以下)或灭弧时间过长(大于100ms以上),溅射靶起辉放电后,由于真空腔体内的导电离子已基本被中和掉,第二个(以后)重复脉冲的复辉电压恢复至较高数值,与点火起辉时的高电压接近或相同。离子轰击工件表面还产生阴极溅射,溅射出铁离子与氮离子化合形成氮化铁FeN,FeN重新附着在工件表面,然后分解为Fe2N和Fe3N并放出氮原子向工件内扩散
辉光放电(glow discharge)是指低压气体中显示辉光的气体放电现象,即是稀薄气体中的自持放电(自激导电)现象。由法拉个发现。它包括亚正常辉光和反常辉光两个过渡阶段。辉光放电主要应用于乃稳压管、氦乃激光器等器件的制造。
1992年,Roth小组在5mm氦气间隙实现了APGD,并声称在几个毫米的空气间隙中也实现了APGD, 主要的实验条件为湿度15% 、气体流速50l/min、频率为3kHz的电源并且和负载阻抗匹配。两种靶电源不同之处:选用(工艺型)双极矩形波或正弦波中频靶电源,因其输出的电压和电流的占空比可以大范围连续调节,镀膜时电源的工艺参数适应范围比“经济型”中频靶电源要宽很多。他们认为“离子捕获”是实现APGD的关键。
(作者: 来源:)