无尘室的维护与管理
无尘车间是污染控制的基础,是一间具备了空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间。在无尘室极高的硅晶片制造链中,必须是一个无污染源的环境、超洁净的车间,硅晶片零件才能够正常批量生产。这样做可以减轻每个集中式净化处理室空调系统的冷负荷与热负荷,而且运行比较灵活。 我国的无尘室发展起步与国外相比较晚,近二十年来,随着越来越多外企在国内开办或合资开办企业,一些高新
千级无尘车间设计
无尘室的维护与管理
无尘车间是污染控制的基础,是一间具备了空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间。在无尘室极高的硅晶片制造链中,必须是一个无污染源的环境、超洁净的车间,硅晶片零件才能够正常批量生产。这样做可以减轻每个集中式净化处理室空调系统的冷负荷与热负荷,而且运行比较灵活。 我国的无尘室发展起步与国外相比较晚,近二十年来,随着越来越多外企在国内开办或合资开办企业,一些高新技术对生产环境的要求提高,为了提升竞争力,各个行业也开始追求无尘室的质量。

无尘车间设计要求:中效或高空气过滤器宜按小于或等于额定风量选用;中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节的正压段。必要时还得安置一些辅助设备:如新风口的空气指示仪,隔断上的传递窗等,这些设备必须适合房间的要求,并且必须真正了解其功能。无尘车间动线规划要点:要检讨分析人车路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业的流程等,尽量缩短动线,并避免交叉,以防止交叉污染。落地式净化空调大多数采用前开门式结构,具有双重安全装置,安装方便。
无尘车间如何选择装修材料:必须用防水石膏板。无尘车间装饰面板:装饰面板,俗称面板。是一种高等级的装料。所谓10万级是指一英尺的空间内允许存在的0.5微米的尘埃粒子的个数在10万个以内。人和物是洁净室无尘车间的主要尘源,因此必须充分控制。无尘车间施工要求:装有过滤器的房间,不能有粉尘的作业。可以说空调系统质量的好坏,就关系到了无尘净化室洁净效果的好坏。各个相接处的缝隙须密封。施工现场应保证良好的通风和照明。
必要时还得安置一些辅助设备:如新风口的空气指示仪,隔断上的传递窗等,这些设备必须适合房间的要求,并且必须真正了解其功能。无尘车间等级定义的模式如下:ClassX(atYμm)其中X是无尘室的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2μm,0.5μm等,可复选。无尘车间施工要求:根据GMP规范要求,缝隙部位要做密封处理。无尘车间中不可忽略的细节在运行中,一般风管的局部阻力高于风管的沿程阻力,这点需注意,遇到这种情况需要改善。所有的配件与主体结构相连,防止松动和灰尘脱落。
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