湿度过高产生的问题更多。以电子类实验室洁净工程为例，其全年耗电量的46%用于洁净工程的运行与维护。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同
洁净室造价
湿度过高产生的问题更多。以电子类实验室洁净工程为例，其全年耗电量的46%用于洁净工程的运行与维护。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45%。
百级洁净室设计装修参数标准：
1. 洁净度：粒径≥0.1微米的尘埃粒子数量需要小于100个。
2. 压差及温湿度：温度22℃±2;湿度55%±5;基本房间要满布ffu，做高架地板。做MAU+ffu+DC系统。还有保持正压，相邻房间压力梯度保证在10pa左右。
3. 照度：由于无尘洁净室的工作内容大多有精细的要求，而且又都是密闭性房屋，所以，对照明一向有很高的要求。主要有以下几点：
4. 局部照明：这是指为增加某一地点的照度而设置的照明。但在室内照明中一般不单独使用局部照明。
5. 混合照明：指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成照明，其中，一般照明的照度应占总照度的10%-15%。
管道通过围护结构时，首先要有良好的固定结构，在使用过程中不得晃动或移位，以保证密封效果。为了满足集成电路日益精细的加工要求,各国在微污染控制技术领域内投入了可观的人力、物力进行系统研究,取得了大量科技成果,涌现了一批高科技产品,诸如超过滤器(过滤效率达99。安装定位和密封处理应有机结合。在金属墙板上开的每个孔的周边均应附定位框架，大型风管的加固应防止前后左右移动。管壁与金属墙板之间的缝隙应用胶水或橡胶海绵填塞，然后用密封胶处理。洁净室的内部装修所用的材料和组件应符合设计要求，不符合要求的外购件应符合质量和标准。金属壁板应符合标准规范要求，并应有书和性能试验报告，包括防火报告和合格证。
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