影响诚薄机诚薄硅片平整度的因素有哪些
要保证硅片厚度的一致性。因为当研磨时,由于磨料分布不均匀,使得行星齿轮片_上、下硅片研磨速度也会不一样,所以要想保证硅片的减薄速度一样,就必须在每研磨到一定时间时将行星齿轮片翻转后再进行研磨,从而确保硅片厚度的一致性,同时也让硅片厚度公差得以缩小,具体要研磨多久才进行翻车专为适当,是要根据减薄厚度和测试结果来定的。
减薄机生产商
影响诚薄机诚薄硅片平整度的因素有哪些
要保证硅片厚度的一致性。因为当研磨时,由于磨料分布不均匀,使得行星齿轮片_上、下硅片研磨速度也会不一样,所以要想保证硅片的减薄速度一样,就必须在每研磨到一定时间时将行星齿轮片翻转后再进行研磨,从而确保硅片厚度的一致性,同时也让硅片厚度公差得以缩小,具体要研磨多久才进行翻车专为适当,是要根据减薄厚度和测试结果来定的。
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在经过减薄加工的硅片厚度公差和平整度是与行星齿轮片的平整性有着必然联系的。因为行星齿轮片采用的是球墨铸铁加工制成的,相对行星齿轮片的平整度要求是比较高的,如果行星齿轮本身不够平整的话,减薄出来的硅片它的平整性就会随之受到影响而变差,同时厚度公差也会增大;还有就是在研磨时一定要确保磨料的流量不变,尤其是减薄前硅片本身的厚度要足够均匀才可以,如果硅片在高温扩散后出现变形,导致其弯曲,而弯曲程度相对较大时,那么在减薄的过程中是极易破损的,或者出现较大的厚度误差。因此,减少扩散工艺引起硅片变形是提高硅片平整度和减少厚度公差的一个十分重要的因素。
减薄机设备原理
1.本系列横向减薄研磨机为全自动精密磨削设备,由真空吸盘或者电磁吸盘吸附工件与磨轮作相反方向旋转运动,磨轮前后摆动。该方法磨削阻力小、工件不会破损,而且磨削均匀生产;
2.设备可自动对刀、实际检测磨削扭力、自动调节工件磨削速度,从而防止工件磨削过程中因压力过大产生变形及破损,自动补偿砂轮磨损厚度尺寸。
高精密横向减薄设备特点:
1.可使直径150晶片厚度减薄到0.08mm厚而不会破碎。而且平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内;
2.减薄,LED蓝宝石衬底每分钟磨削速度较高可减薄48微米。硅片每分钟磨削速度较高可减薄250微米;
3.系列研磨机采用CNC程控系统,触摸屏操作面板。
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