3.出气速率
材料冶炼过程形成的管道材料晶间或者晶格内部存在着某些杂质，如氮、碳氢化合物等，在高纯气体输送过程中，这些杂质会缓慢地释放出来，污染高纯气体，尤其是杂质要求在ppb以上级的高纯气体。通常低碳不锈钢管的出气速率极低。
4.吸附性
由于水分等杂质是极性分子，吸附性很强。橡胶、塑料或一些表面粗糙的材料极易吸附水分等杂质，铜材对水吸附性极强，使用这些材料输
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3.出气速率
材料冶炼过程形成的管道材料晶间或者晶格内部存在着某些杂质，如氮、碳氢化合物等，在高纯气体输送过程中，这些杂质会缓慢地释放出来，污染高纯气体，尤其是杂质要求在ppb以上级的高纯气体。通常低碳不锈钢管的出气速率极低。
4.吸附性
由于水分等杂质是极性分子，吸附性很强。橡胶、塑料或一些表面粗糙的材料极易吸附水分等杂质，铜材对水吸附性极强，使用这些材料输送高纯气体易被污染，除了输送ppm级以下的氧气会使用紫铜管外，高纯气体都不采用铜管和塑料管，气体会接触到的垫片、填料也不得采用橡胶、塑料材料（包括聚四氟乙烯）。9、氢气系统设备运行时，严禁敲击、带压紧固和维修，不得超压，禁止处于负压状态。
三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体，是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体，在离子蚀刻时裂解为活性氟离子，这些氟离子对硅和钨化合物，高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性（对氧化硅和硅），它在蚀刻时，在蚀刻物表面不留任何残留物，是非常良好的清洗剂，同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。本底“本底”是指在色谱载气中含有的被测杂质气体，配标准气用底气中含的被测杂质气。
高纯气体管路安装具有哪些优势？
1、 高压气体充装台、气体汇流排、气瓶集装阁、气体工位分配箱系列
2、 空温式、电加热、水浴式汽化器系列
3、 新一代往复式低温液体泵、二氧化碳充装泵、低温液体离心泵、二氧化碳灌注泵、大流量泵系列
4、 永l久气体防错装接头、槽车用接头、各式充瓶卡具系列
5、 高压不锈钢软管、不锈钢波纹管系列、真空多层绝热低温液体管道系列
6、 低温阀门、不锈钢球阀门、不锈钢截止阀、各种气体管路阀、止逆阀、安全阀、氧气瓶阀及其配件系列
7、 溶解乙炔成套设备及大中小型空分设备配件系列
8、 气体管路减压器、调压阀、压力表、氢、氧、乙炔高中压回火防止器
9、 气体钢瓶检测设备、气瓶真空干燥装置系列
10、气体调压输送装置、多元气体配气装置、气体试压装置
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