高纯气体充装的抽空操作
一、开启真空泵,同时抽空汇流排,负压值≥0.1MPa,继续抽真空15~30min,关闭抽空管道截止阀后,停止真空泵
二、缓慢开启抽空总阀,不要让泵油外溢
三、真空表指示值<-0.1MPa
四、抽空5~15分钟后
五、关闭抽空总阀
六、开启通气阀,不要抽空管路过油
七、关闭真空泵,抽空结束。
高纯气体厂家
高纯气体充装的抽空操作
一、开启真空泵,同时抽空汇流排,负压值≥0.1MPa,继续抽真空15~30min,关闭抽空管道截止阀后,停止真空泵
二、缓慢开启抽空总阀,不要让泵油外溢
三、真空表指示值<-0.1MPa
四、抽空5~15分钟后
五、关闭抽空总阀
六、开启通气阀,不要抽空管路过油
七、关闭真空泵,抽空结束。
高纯气体对液态金属有什么影响
到目前为止,对于液态金属起始沸腾的认识仍存在不足,如对于热流密度、速度等参数的影响趋势尚不能完全确定。理论分析和实验均表明惰性气体的存在可显著降低过热度。高纯气体对液态金属有什么影响高纯气体在我们现在的生活中还是非常的重要,不少的地方都有它的出现,那么惰性成都高纯气体对液态金属有什么影响呢。但在许多实验中,没有充分考虑惰性气体的影响,因而无法剥离某些因素的独立影响。有学者指出,观察到的许多参数的影响可能仅仅是由于惰性高纯气体扩散引起的附加效应。
高纯气体纯度:特种气体要求超纯、超净。纯度每提升一个 N 以及粒子、金属杂质含量浓度每降低一个数量级都将带来工艺复杂度和难度的显著提升。高纯气配管技术是高纯气体供气系统的重要组成部分,是能否将合符要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术。例如,12 吋、90nm 制程的集成电路制造技术要求电子特气的纯度要在 5N~6N 以上,有害的气体杂质浓度需要控制在 ppb(10-9);在更为的28nm 及目前国际的 6nm~10nm 集成电路制程工艺中,电子特气的纯度要求更高,杂质浓度要求甚至达到 ppt(10-12)级别。
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