早期开发的变压吸附制氧设备的共同点有以下几个方面：
（1）大多采用高于大气压吸附、常压解吸流程，吸附塔有两个到四个；
（2）空气进入吸附塔前，经过脱水预处理；
（3）设备可靠性差，不能连续稳定运行，导致大部分设备报废；
（4）技术、经济指标落后。
20世纪90年代是我国变压吸附制氧技术突飞猛进向前发展的时期，变压吸附制氧技术逐渐成熟。
小型制氧机
早期开发的变压吸附制氧设备的共同点有以下几个方面：
（1）大多采用高于大气压吸附、常压解吸流程，吸附塔有两个到四个；
（2）空气进入吸附塔前，经过脱水预处理；
（3）设备可靠性差，不能连续稳定运行，导致大部分设备报废；
（4）技术、经济指标落后。
20世纪90年代是我国变压吸附制氧技术突飞猛进向前发展的时期，变压吸附制氧技术逐渐成熟。
制氧设备应用领域
在压力升高时，沸石分子筛吸氮产氧，压力降至常压时，沸石分子筛脱附氮气再生。变压吸附制氧设备通常有两只吸附塔，一只吸氮产氧，另一只脱 氮再生，如此交替循环不断产出氧气。
治金业：电弧炉炼铁富氧、竖炉富氧助燃。
有色治炼业：铅冶炼、铜冶炼、锌冶炼、铝冶炼、各种炉窑富氧。
环保业：饮用水处理、废水处理、纸浆漂白、污物生化处理。
化工业：各种氧化反应、臭氧生产、煤气化。
业：吸氧吧、氧疗、体育保健。
水产业：海、淡水养殖。
其它产业：发酵、切割、玻璃炉窑、空调、垃圾焚烧。
PSA法能够生产纯度80%~95%的氧气，制氧电耗一般在0.32kWh/Nm3～0.37kWh/Nm3，吸附压力高于大气压，一般在30kPa～100kPa，流程简单，常温下工作，自动化水平高，可实现无人化管理，特别是安全性好。在真空解吸流程中，装置操作压力低，容器等不受压力容器规范控制。变压吸附工艺按吸附器的数量，分为单塔流程、两塔流程、三塔流程和五塔流程等。深冷装置在低温下运行，运转机器较复杂，所以维修费用及颐养时间均比PSA装置多，并且深冷空分有运转周期，小型设备运行几个月就需进行加大温，用蒸汽对设备及管路进行吹扫解冻，加温解冻时间一般为36小时，停车时间较长。五塔流程的变压吸附法为常用，就是用5个吸附床、4台鼓风机和2台真空泵，整个周期中保持2个床在吸附和抽真空，解决了大规模产氧的技术问题 。
变压吸附制氧工艺具有以下优点：一是采用大气进气压差自动充压技术，减少鼓风机送风量，延长设备使用寿命，降低氧气制造成本。 二是设备简单，主要设备罗茨鼓风机和真空泵运行稳定、可靠，分子筛的使用寿命在10年以上，无需维护。 三是产生的氧气量及纯度可根据实际使用情况进行调节，稳定纯度可达93%，经济纯度为80%~90%;产氧时间快，一般30min以内就可以达到80%以上的纯度;单位电耗仅0.32kWh/Nm3～0.37kWh/Nm3。4、富氧膜制氧机采用膜制氧方式,通过膜对空气中氮分子的过滤,达到出口氧气30%的浓度,体积小,用电量小,可用于氧疗保健。四是变压吸附制氧与深冷法制氧对比有以下特点：投资低，流程简单，占地少，设备少，运动部件少;自动化程度高，基本可实现无人化管理;能够满足高炉富氧鼓风工艺要求。
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