真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。若使用抽滤，首先检查抽气套管是否有裂纹、漏气，如果有，则停止使用，应及时更换抽滤管，并使用合适的抽滤锥形瓶，以保证仪器正常工作。但泵的较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气
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真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。若使用抽滤，首先检查抽气套管是否有裂纹、漏气，如果有，则停止使用，应及时更换抽滤管，并使用合适的抽滤锥形瓶，以保证仪器正常工作。但泵的较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。
故障分析及处理
（1）启动困难，电机超电流或跳闸原因：
a、启动时真空泵泵内水位很高。
b、填料压盖上得太紧。
c、内部机件生锈。
d、排出压力或后路不畅通。
e、配电房故障。
处理方法：
a、按规定水位启动(自动排水阀以下)。
b、放松填料压盖。
c、用力扳动转子，并供水冲洗。
d、检查后路是否畅通，降低压力。
e、联系电工处理。
（2）试车或运转中出现卡死现象原因：
a、新管线有焊渣、铁屑等异物被气体带入泵体内。
a、可松开前后盖螺栓，转动叶轮并用水清洗，待转动灵活后紧固螺栓。如不能排除，须拆开检查。
b、拆卸清除或酸洗。
（3）吸气明显下降，真空度降低
a、供水量不足或水温过高。
b、系统有泄漏。
c、介质带液物料磨蚀，使内部机件间隙加大。
d、填料密封泄漏。
e、内部结垢严重。
f、机件腐蚀。
g、修配后，轴向间隙不符合要求。
h、柔性阀板破坏。
a、调节供水量，检查水压力是否过低或降低水温。
b、检查管路得泄漏点想办法堵漏。
c、加强调节塔顶负荷，净化介质，防止液体吸入泵内，更换磨损零件。
d、稍拧紧填料压盖。
e、清除水垢。
f、更换零件。
g、重新调整轴向间隙。
h、更换阀板。
(4）轴承部位发热
a、电机、真空泵不对中。
b、润滑不良，油脂干涸或太多。
c、轴承安装不当。
d、轴承锈蚀、磨蚀、滚道被划伤。
a、重新调整同轴度。
b、改善润滑条件。
c 重新调整轴承位置。
d、更换轴承。
真空泵的范围要求及工作压强
真空泵在进行使用的过程中，其工作强度应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
正确的选择其真空泵的工作点，每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。装配时真空泵壁抹上少量油脂，尽可能捎除死空间，油量以油线为淮，过量会喷油。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。
真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。（3）慢慢关小供水阀得开度，当真空表指针开始波动或下降时，这时的供水量已经不够，重新慢慢打开供水阀门，当真空表指针重新稳定时，这时的供水量为供水量。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
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