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PVD的意思是“物理气相沉积”,是指在真空条件下,用物理的方法使材料沉积在被镀工件上的薄膜制备技术。
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PVD(物理气相沉积)镀膜技术主要分为三类,真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀膜。对应于PVD技术的三个分类,相应的真空镀膜设备也就有真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机这三种。近十多年来,真空离子镀膜技术的发展是快的,它已经成为当今的表面处理方式之一。我们通常所说的PVD镀膜,指的就是真空离子镀膜;通常所说的PVD真空泵维修图片,指的也就是真空离子镀膜机。
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真空泵维修图片在信息薄膜加工中的应用
真空技术在信息薄膜加工中的应用
近半个世纪的历史表明,电子学器件的发展对人类社会起了很大的推动作用,每一种新的电子器件出现都对科学技术和生产的发展起了积极的促进作用。电子管的诞生是真空科学技术充分发展的结果。微电子器件的发展是基于材料的超纯和微细加工高精技术的提高,其中很多加工过程都与真空技术有关。
微电子器件是现代高速计算机和个人计算机的基础,当今在某些发达,微电子和计算机工业已经超过了能源、材料、交通和钢铁工业而占国民经济产值的前位。在电子工业和计算机工业的发展中,真空科学与技术做出了重要贡献。
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