一般三坐标校准保养过程主要包括以下几部分：
1、检查电脑和有关备份文件
2、清理三坐标导轨
3、检查外罩
4、检查所有的气路系统，更换老化的气管
5、检查气体过滤机构，并对之进行基本保养和维护
6、检查z轴安全保护装置，检查气动平衡机构
7、检查和清洗气浮轴承
8、检查调整电气和机械行程开关
9、检查和调整传动机构，并做常规
手动三坐标测量仪
一般三坐标校准保养过程主要包括以下几部分：
1、检查电脑和有关备份文件
2、清理三坐标导轨
3、检查外罩
4、检查所有的气路系统，更换老化的气管
5、检查气体过滤机构，并对之进行基本保养和维护
6、检查z轴安全保护装置，检查气动平衡机构
7、检查和清洗气浮轴承
8、检查调整电气和机械行程开关
9、检查和调整传动机构，并做常规保养
10、检查和调整测量机水平
11、检查和调整三坐标横梁与xY工作平面的平行
12、建议用激光干涉仪检测和补偿测量机各轴误差
三坐标测量机测针的选择和校准
三坐标测量机的测量精度和工作效率与测针的校准和选择紧密关联，在进行测量工作之前必须要合理的选择测针和对测针准确的校准，因为测针的测球有自己的尺寸，而测量零件的不同位置可能是用测球的不同位置去接触零件的，因此，测量的数据中含有测球自己的数值，而测针校准就是测量测球自己尺寸大小的过程。特别是校准不同长度和位置的测针时测球校准结果球度误差的大小对测量结果的影响至关重要。
三坐标测量机校准测针时，需注意的问题
重复校准。单个测针位置校准，需要观察测针直径和球度误差，三坐标测针直径应与平时校准相近且重复性好，球度误差也小，多个测头位置校准时，除要观察以上结果外，还要用校准后的各个位置的测针测量标准球，观察球心坐标值的变化，数值应与示值误差或探测误差相近。如果变化范围在（1~3）μm之间，就算正常。否则，就要重新检查测头、测座、接长杆、标准球的安装是否稳固、可靠。
正确使用三坐标测量机方法。
1、每次使用三坐标测量机之前都要检查管道和过滤器，要将过滤器、空压机和储气罐内的水与油放出。
2、测量前要先吊装工件，注意将探针退回坐标原点处，这样可以为吊装位置预留较大的空间，整个过程要保持工件吊装的平稳，不能让工件撞击到三坐标测量机。
3、安装零件时要确保其符合规范，安装前还要注意温度条件，保证零件与测量机是等温的。
4、注意预防探针与工件对程序自动运行的干扰，编程时就注意防范，需要增加一些拐点，确保程序自动运行的顺畅。
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