高纯三氟化氮的基础介绍及行业应用
采用三氟化氮比四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中，三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物表面不留任何残留物，同时也是非常良好的清洗剂。随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术，它的需求量将日益增加。高纯气体不锈钢管道技术，高纯度气体管道技术是
高纯气体供应商
高纯三氟化氮的基础介绍及行业应用
采用三氟化氮比四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中，三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物表面不留任何残留物，同时也是非常良好的清洗剂。随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术，它的需求量将日益增加。高纯气体不锈钢管道技术，高纯度气体管道技术是高纯度气体供气系统的重要组成部分，是高纯度气体能够供应到要求的供气点的重要技术。危险概述：
喷水雾减慢挥发（或扩散），但不要对泄漏物或泄漏点直接喷水。抽排（室内）或强力通风（室外）。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。法规信息：化学危险品安全管理条例（1987年2月17日发布），化学危险品安全管理条例实施细则（化劳发[1992]677号），工作场所安全使用化学危险品规定[1996]劳部发423号）法规。长期吸入低浓度NF3能损伤牙齿和骨骼，使牙齿生黄斑，骨骼成畸形。
为减少电能消耗，降低成本，都在研发和使用各种混合气。其间，以使用氮－氢混合气为多。国外多选用液态氢和液态氮汽化法取得氮氢混合气， 也有选用液氮分解法取得氮氢混合气的。 用液氢和液氮汽化来取得氮氧混合气的办法，因为选用了液化后再汽化的工艺，故其投资和成本均较高． 国外，因为生产的化程度高，使用单位多选用这种办法取得混合气。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体，在离子蚀刻时裂解为活性氟离子，这些氟离子对硅和钨化合物，高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性（对氧化硅和硅），它在蚀刻时，在蚀刻物表面不留任何残留物。
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