工作完毕，切断电炉电源，等炉温降到一定温度后，关闭扩散泵加热电源。在抽预真空状态下，等油增压泵降油温，然后关真空阀，关机械真空泵，后关冷却水和总电源。工作结束后，应及时填写设备使用记录及相关文件，整理及打扫工作现场，消灭事故隐患。
真空设备操作应注意，扩散泵加热时，主抽泵及前级阀需打开抽真空。主阀必须在前级阀打开后才能打开。主阀未关上时，炉体放气阀不能打开。
真空设
进口真空泵维修
工作完毕，切断电炉电源，等炉温降到一定温度后，关闭扩散泵加热电源。在抽预真空状态下，等油增压泵降油温，然后关真空阀，关机械真空泵，后关冷却水和总电源。工作结束后，应及时填写设备使用记录及相关文件，整理及打扫工作现场，消灭事故隐患。
真空设备操作应注意，扩散泵加热时，主抽泵及前级阀需打开抽真空。主阀必须在前级阀打开后才能打开。主阀未关上时，炉体放气阀不能打开。
真空设备的改造。为防比大量冷空气进行扩散泵和增压泵，可在抽高真空管道系统加装一台维持泵，实现真空阀与放气阀之问互锁，从而确保设备安全运行。由于管路没有加维持泵，在抽高真空时，气动挡板阀由于损坏或误操作而漏气，使冷空气进入，冷空气遇高温油蒸气，使气体迅速膨胀发生。
莱宝螺杆泵维修过程中，需要检查油位是否低以及干油标记线。如有低干油标记，应及时加油，否则会影响真空泵的真空度。油量不能太多，否则会造成起动困难和喷油等问题。在莱宝螺杆泵维修过程中，还需要检查油位位置，若是不符合要求，调整油位至符合要求。真空泵运行时，油位应以油标中心为准。在莱宝螺杆泵维修过程中，还必须检查油的质量。如果发现油变质，应及时更换新油，以确保真空泵的正常运行。
普旭真空泵维修时，漏气可能是由于配合间隙过大(或磨损和擦伤)造成的。此时，只需检查轴封、排气阀、端盖、进气口等部件的密封情况，并对密封圈进行修理和更换。普旭真空泵在维护过程中，当泵运行过程中温升过高时，泵油浓度变稀，密封性变差，油压升高。此时，必须检查泵腔、转子、转子板和端盖之间的配合间隙，清除杂质和杂质，根据精度要求进行修理和研磨，调整油路的进油口，清洗时用高压空气吹透油孔，将沉淀物清洗干净，冷却冷却水，并根据精度要求检查配合间隙进行修理。
包括各式真空泵维修包、真空泵维修套件，真空泵油品与真空泵油膏（日本JOMO真空油,道康宁DOW CORNINGHVG真空油脂,FOMBLIN氟素油,日本Moresco松村真空油等.包括真空矿物油等其它真空油品）、真空计，压力表，真空系统**使用之真空组件，管件等。泵配件波纹管(NW,KF,ISO等),转接头,气阀等、碳精叶片,空气过滤器,油雾器，油过滤器，空气滤心器等。服务真空泵包括：Edwards爱德华系列真空泵, ALCATEL阿尔卡特系列真空泵，LEYBOLD莱宝系列真空泵,BECKER 贝克系列真空泵, BUSCH 普熙系列真空泵, ORION 好利旺真空泵,ULVAC优贝克真空泵,PFEIFFER 普发系列真空泵, Rietschle 里其乐真空泵, IWATA岩田系列真空泵，CTI真空泵，EBARA真空泵，汉钟真空泵（hanbell), 台湾新品达欣真空泵系列（DICK）,ANELVA冷冻真空泵，SHIBAURA真空泵, TOKUDA芝浦系列真空泵, HITACHI 日立系列真空泵, KASHIYAMA 日本坚山工业真空泵, MITSUVAC 三津海真空泵等。
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