当管式炉使用惰性气体时需要注意的问题
1. 接通工作气体气路,将管式炉气体出口端联接机械泵。
2. 当管式炉真空表到-0.1(指针到止境时),关闭出气阀,关闭进气阀。
3. 翻开管式炉进气阀,合上真空泵电源,翻开出气阀(留心把住法兰,避免炉管受力过大),抽暇刚玉管和气体管路。
4. 管式炉气压表当气压稳守时,关闭管式炉进气阀,翻开出气阀,抽真空到
多温区管式炉
当管式炉使用惰性气体时需要注意的问题
1. 接通工作气体气路,将管式炉气体出口端联接机械泵。
2. 当管式炉真空表到-0.1(指针到止境时),关闭出气阀,关闭进气阀。
3. 翻开管式炉进气阀,合上真空泵电源,翻开出气阀(留心把住法兰,避免炉管受力过大),抽暇刚玉管和气体管路。
4. 管式炉气压表当气压稳守时,关闭管式炉进气阀,翻开出气阀,抽真空到-0.1,关管式炉出气阀。
5. 逆时针旋动旋钮开气瓶主阀,顺时针旋动旋钮,缓慢翻开出口减压阀,使出口气压在0.004MPa(2小格)。
6. 逆时针旋动旋钮,缓慢翻开管式炉进气阀;亲近留心管式炉气压表,供认气压在0.08MPa以下(如气压高于0.08MPa,翻开管式炉出气阀放气)。
7. 重复4、5步两次。
8. 关机械泵,翻开管式炉进气阀。
管式炉安装方法是什么
管式炉安装方法很简单,主要是分为三部分来安装:电气安装、炉体安装以及zui后的检查和紧固。
1、 电气安装:在电气安装里面,电源的配置应该是220V(380V),根据用户的电控柜配置功率应该大于4千瓦。热电偶插入到炉膛大约25毫米深,采取N分度号补偿导线和控温仪表进行联接。需要注意的是,要先安装石英管,之后才能安装热电偶,热电偶不能喝石英管相接触。电炉和控制柜整体接地,接地线接地电阻要小于4欧姆。
实验管式电炉炉壳与炉衬之间砌筑氧化铝泡沫,硅酸铝纤维等保温材料,实验管式电炉顶部硅钼捧接线处装有防护罩以保安全,炉门由多给绞链的长臂固定在箱式电阻炉面板上,关闭时,门扣能使炉门紧贴在炉口上,炉口下装有联锁开关,炉门开启时能自动切断工作电源,测量用的热电偶通过开在实验管式电炉炉顶的热电偶孔插入,并由固定座固定。
实验管式电炉可根据用户的要求,提供产品电炉工艺方案制定,热处理车间设计,电炉设备的选型及设计制造、安装调试、生产运行、售后维护保养等全部电炉技术和服务。
如何选择管式炉?
1、了解您的应用程序
单区与多区:多区炉具有多个独立控制的恒温区,允许受控的温度梯度或较长的加热区。
水平(标准)与垂直:垂直管炉提供较小的占地面积,可用于加热/淬火过程
RTP(热处理):可滑动的样品保持器或加热炉
高压/真空炉:特殊设计的高温高压真空处理用不锈钢或高温合金管
旋转管式炉:加热过程中旋转管以提高粉末加工/涂层均匀性
气体处理能力:可用于氢气处理和高温腐蚀研究的特殊模型
多功能:基于管式炉的完整系统,如CVD、PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和2D材料生长系统等
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