300C有机无机联合蒸发
主要用途:
用于制备导电薄膜,半导体薄膜,铁电薄膜,光学薄膜等。
系统组成:
该蒸镀设计系统主要由真空抽气及真空测量系统、真空室系统、工件架系统、蒸发源系统、膜厚测试系统、蒸发舟挡板系统、烘烤照明系统、水冷却循环及报警系统、电控及控制系统、辅助系统等设计。
技术指标:
极限真空度:≤6.
300C有机无机联合蒸发镀膜机批发
300C有机无机联合蒸发
主要用途:
用于制备导电薄膜,半导体薄膜,铁电薄膜,光学薄膜等。
系统组成:
该蒸镀设计系统主要由真空抽气及真空测量系统、真空室系统、工件架系统、蒸发源系统、膜厚测试系统、蒸发舟挡板系统、烘烤照明系统、水冷却循环及报警系统、电控及控制系统、辅助系统等设计。
技术指标:
极限真空度:≤6.7×10 Pa
恢复真空时间:从1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min
系统漏率:6. 7×10-7Pa.L/S;
真空室:Ф400 x400mm圆筒型真空室 ,
蒸发源:1-4个,采用电阻蒸发舟、蒸发蓝、绞丝、束源炉至下向上蒸发镀膜。
蒸发温度:加热温度:室温~1800℃;
蒸发舟在距中心100~160mm的圆周上;蒸发舟可上下升降,调节幅度0~150mm(样品中心与坩埚距离150~300mm);
工作架类型及尺寸:样品托盘直径Φ300mm,其上可放多个直径20mm的小样品;样品托盘具有自转功能,转速在0~20 转/分钟,转速可调;样品托盘可摆角,角度在0~30度可调;
烘烤温度:400℃数显自动热偶控温(高温炉盘,数显自动热偶控温可加热到700℃)
电阻蒸发源:电压5V,10V,功率2.5KW,水冷电极1~4对
石英晶振膜厚控制仪:膜厚测量范围0-999999
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钙钛矿镀膜设备
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供,今天我们来分享电阻热蒸发镀膜产品的相关内容,希望对同行业的朋友有所帮助!
设备用途 :
适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等,可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作,也可用于大批量生产前的试验工作。广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、OLED等研究领域
设备组成:
该设备主要由沉积室、真空排气系统、真空测量、蒸发源、样品加热、电控系统、等部分组成。
1、镀膜室:方形前后开门结构,内带有防污板。
2、真空度:镀膜室的极限真空≤5×10-5Pa;
3、蒸发源系统:有机源蒸发源4个,无机蒸发源2套
4、样品架系统:样品大小为Φ150mm的样品,旋转速度为:0~30转/分;
5、样品在镀膜过程中,可烘烤加热,加热温度为:室温~190℃,测温控温。
6、膜厚控制仪:测量范围0-999999
有机热蒸发镀膜机介绍
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——生产、销售电阻热蒸发镀膜产品,我们公司坚持用户为上帝,想用户之所想,急用户之所急,以诚为本,讲求信誉,以产品求发展,以质量求生存,我们热诚地欢迎各位同仁合作共创。
真空:极限真空6*10 -5 帕
工作真空6*10 -4 帕
恢复工作真空时间:连接手套箱≤10分钟
不连接手套箱,充干燥氮气≤30分钟
本套设备配有8个有机源及2个金属源
金属蒸发源和有机蒸发源可按客户要求配置
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