根据等离子体激元装置反射的激光的量，就可以得到间隙的宽度和纳米颗粒的运动。假设间隙由于纳米颗粒的运动而改变，使得等离子体激元的固有频率或谐振更接近于激光的频率。在这种情况下，等离子体激元能够从激光吸收更多的能量，并且反射较少的光。
为了在实用设备中使用这种运动感测技术，将黄金纳米颗粒嵌入微观尺度的机械结构中，这是一种由氮化硅制成的类似微型跳台的振动悬臂梁，只有几微米长。因
纳米级位移测量技术应用
根据等离子体激元装置反射的激光的量，就可以得到间隙的宽度和纳米颗粒的运动。假设间隙由于纳米颗粒的运动而改变，使得等离子体激元的固有频率或谐振更接近于激光的频率。在这种情况下，等离子体激元能够从激光吸收更多的能量，并且反射较少的光。
为了在实用设备中使用这种运动感测技术，将黄金纳米颗粒嵌入微观尺度的机械结构中，这是一种由氮化硅制成的类似微型跳台的振动悬臂梁，只有几微米长。因此，研究新型的检焦方法和消除光强波动带来的测量影响具有重要的研究价值。即使它们没有运动，这种装置也不会完全静止，而是以高频振动，在室温下随着分子的运动而推挤。即使振动的振幅很微小，仅移动了亚原子级距离，使用这种新的等离子体激元技术也很容易检测到。同理，通常都采用较大的机械结构进行科学测量并用作实际的传感器；，在汽车和智能手机中探测运动和方位。NIST科学家希望他们这种纳米级测量运动的新方法将有助于进一步小型化许多这样的微机械系统，并提高其性能。
提高分辨力一直是光刻技术发展的主旋律，由瑞利公式R=K1λ/NA可知，缩短波长是提高分辨力的有效手段。每次更短波长光刻的应用，都促使集成电路性能得到极大提升。
光电所采用三角法测量，Z向位移转化为标记光栅与检测光栅横向位移ΔX，通过两光路的信号比对横向位移量ΔX进行检测，实现检焦。③研制出在同一干涉仪中直接实现大范围纳米位移测量的新型测试计量装置。该方法的两光路结构设计相同，两信号相位相差，利用两光路的信号比求解硅片的离焦量，消除了光强波动的影响，实现了纳米级的检焦精度。
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