电容传感器的特点
电容变换器需要将所测的力学量转换成电压或电流后进行放大和处理。质量块的下端面也是一个活动电极,它与下固定电极组成另一个电容器C2。 在有些条件下,这些力学量变化相当缓慢,而且变化范围, 测量要有较高的分辨率,其他传感器很难做到高分辨率要求, 而有的电容测微仪分辨率为0.01 μm, 大量程为100±5 μm,因此一般采用电容式传感器进行检测比较
薄膜厚度测量
电容传感器的特点
电容变换器需要将所测的力学量转换成电压或电流后进行放大和处理。质量块的下端面也是一个活动电极,它与下固定电极组成另一个电容器C2。 在有些条件下,这些力学量变化相当缓慢,而且变化范围, 测量要有较高的分辨率,其他传感器很难做到高分辨率要求, 而有的电容测微仪分辨率为0.01 μm, 大量程为100±5 μm,因此一般采用电容式传感器进行检测比较适宜,
这类传感器具有以下 突出优点:
高阻抗、小功率,因而所需的输入力很小,输入能量也很低。
电容式传感器因带电极板间静电引力(约几个10-5N),因此所需输入能量,所以特别适宜用来解决输入能量低的测量问题,例如测量极低的压力、力和很小的加速度、位移等,可以做得很灵敏,分辨力非常髙,能感受0.001μm甚至更小的位移。
工业制造中需要用到多种设备,非接触式位移传感器就是为工业环境所设计,适用于重度污染和粉尘大的恶劣环境,安装方便。那么非接触式位移传感器的工作原理是怎样的呢?以下是申思测控小编的分享:
非接触式位移传感器采用的超声波测量技术,在测量位置精度上可以输出高精密的线性和信号。由于敏感元件是非接触的,就算不断重复检测,也不会对传感器造成任何磨损,可以大大地提高检测的可靠性和使用寿命。非接触式位移传感器外壳采用铝合金一次成型加工,通过与磁铁滑块高的精度配合的模式进行非接触式测量。其优势可以取代电阻式电阻尺,采用非接触式测量方式在机械方面不用修改参数即可。接触式位移传感器在安装方面贴合了机械结构的便利性,不但安装简易、牢固,在其控制精度方面也高达0.01%FS,可以在直接和的位置检测反馈。
电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器,具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨特点外,还具有信噪比大,灵敏度高,零漂小,频响宽,非线性小,精度稳定性好,抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。
采用电容式测量原理,需要洁净和干燥的环境,否则传感器探头和被测物体之间的物质介电常数的变化会影响测量结果。我们也推荐任何时候,都尽量缩短探头到控制器之间的电缆长度。
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