湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
利用稀薄气体的辉光放电现象加热工件表面和电离化学热处理介质,使之实现在金属表面渗入欲渗元素的工艺称为辉光放电离子化学热处理,简称离子化学热处理。因为在主要工作空间内是等离子体,故又称等离子化学热
氮化炉
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
利用稀薄气体的辉光放电现象加热工件表面和电离化学热处理介质,使之实现在金属表面渗入欲渗元素的工艺称为辉光放电离子化学热处理,简称离子化学热处理。因为在主要工作空间内是等离子体,故又称等离子化学热处理。
在射频辉光放电空间中,高频电子震荡已能产生足够的工作气体电离,对二次电子发射的依耐性减少了。射频磁控溅射气体放电时等离子阻抗低,工作气体击穿点火电压和维持异常辉光放电电压比中频靶电源时又要降低很多(点火电压只有直流放电等离子辉光放电时的五分之一~八分之一)。由于其特点,辉光发电应用于发射光谱分析,用作气体分析和难激发元素分析的激发光源。
射频磁控溅射气体放电时,由于射频靶电源输出交变高频正弦电压波形,致使电子碰撞工作气体的几率大为增多,工作气体离化率高,等离子阻抗低,射频磁控溅射膜层沉积速率为二极射频溅射的数倍。辉光放电的特征是电流强度较小(约几毫安),温度不高,故电管内有特殊的亮区和暗区,呈现瑰丽的发光现象。和普通化学热处理相同,根据渗入元素的不同,有离子渗碳、离子渗氮、离子碳氮共渗、离子渗硼、离子渗金属等等。 。
(作者: 来源:)