什么是派瑞林
它是一种透明无色的聚酯保护材料。 适用于室温下的真空镀膜，真空镀膜压力在10-5托以下，而派瑞林镀膜工艺在0.1托左右。 涂层的厚度可控制在1-100微米之间，该涂层是美国在60年代初开发的专利，应用于美国印刷电路板、航空航天和水下发射装置的微电子元件领域，1972年被纳入美准：MIL-I-46058C
微纳米加工技术
parylene镀膜代工
什么是派瑞林
它是一种透明无色的聚酯保护材料。 适用于室温下的真空镀膜，真空镀膜压力在10-5托以下，而派瑞林镀膜工艺在0.1托左右。 涂层的厚度可控制在1-100微米之间，该涂层是美国在60年代初开发的专利，应用于美国印刷电路板、航空航天和水下发射装置的微电子元件领域，1972年被纳入美准：MIL-I-46058C
微纳米加工技术：化学气相沉积工艺（CVD）
将粉末状的纳米原料放入真空纳米涂层设备的蒸发室，通过150℃-180℃的温度蒸发为气态分子，在真空（1.0*10-2torr）作用下气态的10nm以下纳米分子进入到裂解室，在裂解室680℃-700℃的高温裂解为具有反应活性的单体，活性单体与单体之间重新聚合，形成一层致密无的纳米膜层。
ParyleneC和ParyleneN的薄膜击穿电压
Parylene的特征之一是它们可以形成极薄的膜层。ParyleneN薄膜和C薄膜的直流击穿电压被确定与高聚物厚度有肯定的关系。
Parylene是一种具有性能的敷形涂层材料，问世后首先在电子领域得到了应用。1972年列入美军标46058C许可作为印刷电路板的敷形涂层材料，涂层厚度为0.0005-0.002英寸。
用ParyleneC涂敷的钢板，在–160℃的液氮中冷却，在Gardner落体试验中可以承受超过100in-lb的冲击。相比之下，室温下为250in-lb。无支持的0.002英寸的ParyleneC薄膜在–165℃下可以弯折180°6次才失效。相比胶而言，聚乙烯、聚氨酯和聚四氟乙烯分别为3次、2次和1次。从2°（–271℃）到室温环境的过程对电气和物理性能都没有影响。对于ParyleneC的厚度从0.002英寸到0.0001英寸的测试效果如表2.很故意思的是，即使对于特别很是薄的涂层（0.0001英寸），绝缘阻抗值也比规定的规格高出一个数量级。
Parylene C 是系列中第二个具有商业价值的成员。它由相同的 单体制成，只是将其中一^芳香烃氢原子用一^氯 原子所取代了。综合了优良的介电性能和物理机械 性能，对潮湿和腐蚀性气体有的渗透性。可以提供真正的无覆形隔离。满足美军标MIL- 46058C,是涂敷重要电路板的材料。符合IS0- 10993生物试验要求。符合UDP第六类塑料的生物试验要求。
Parylene F是系列中的第三个成员.它由相同的单体制成，只 是将其中两个芳香烃氢原子被氯原子取代。较高温 度下仍有优良的介电性能和物理机械性能.有较高的热稳定性。
（作者： 来源：）
