什么是流量控制器
质量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。②仪表使用过程中在使用条件下有必要进行准确的零点标定,质量流量控制器属于在线使用的高度测量仪表,零点的漂移对
气体流量控制器报价
什么是流量控制器
质量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。②仪表使用过程中在使用条件下有必要进行准确的零点标定,质量流量控制器属于在线使用的高度测量仪表,零点的漂移对测量结果有影响,长期使用时一定要定期进行标定。质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,制药等。特点:精度高,重复性好。
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流量控制器特点
1、 稳定的流量供给,不受温度、压力变化
2、 宽量程比,可达100:1
3、 高达0.1%的重复性和1.0级的精度等级
4、 多参数显示和输出:温度、压力、流量等
5、 内置70余种气体,触屏式直接操作切换,无需重新校准
6、 标配三种显示方式:数字、模拟和本地面板
流量控制器的特点
地定量控制流量
质量流量控制器可以地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等特别有用。
适用范围宽
有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,我们的产品流量范围可达0~5 sccm,流量范围可达0~200 slm。质量流量控制器可用于玻璃、太阳能、大气监测、工业制作、石油石化、煤炭冶金、制气配气、环保等各种工业企业的气体管路分配控制、烃类气体、可燃性气体、烟道气等气体的质量流量或实际工况的体积流量测量和监控。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2~ 量程比为-- 50:1, 因此在很多领域得到广泛应用。
流量控制器的控制响应速度
物理时间常数
物理时间常数用希腊字母Tau来表示,是现今为数不多的用来描述响应时间的标准之一,即:控制器到达设定值某个百分比所需要的时间,被定义为1-1/e, 其中e是作为自然对数底数的无理数,其值为2.72,所以1-1/e即为设定值的63.2%。虽然该定义是一个物理标准,可能说明不了什么问题,因为余下的设定值的36.8%所花费的时间可能多于或少于之前的63.2%。从下面示波器截图中可以看到:ALICAT系统热平衡分析当流量传感器被置于流体管道中,在流态稳定时,探头与周围介质处于近似的热平衡状态,这时流体、探头、测量杆和管道组成一个传热系统,此时的系统热平衡方程为:传感器世界2007。质量流量控制器仅用了7.4毫秒便到达了设定值的63.2%。
任意设定值百分比变化区域
不少质量流量控制器的技术参数采用设定值某一百分比区间内的变化来定义设备响应速度,比如:从设定值的10%到达90%所需要的时间。由于和后的 10%控制响应曲线变化,由此而得出的控制响应速度可能无法与实际的控制性能等同。如下图所示,ALICAT质量流量控制器用了11.4毫秒到达设定值, 从示波器波形图中可以清晰地观察到:50%那段跨度,10%和高于90%那两段的跨度则小了很多。就该图而言,如果按照从设定值10%到达90%所用的时间来定义设备响应速度的话,那么结论是6~7毫秒。流量控制器内存在水汽有多糟排出液体如果您的ALICAT质量流量计、质量流量控制器内渗入了液态物质,切勿置之不理,倘若液体在气路内滞留太久,可能导致不同金属间相互反应。
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