广州帕纳光电科技有限公司----Agilent TV301分子泵销售厂家;
水泵性能的技术参数有流量、吸程、扬程、轴功率、水功率、效率等;根据不同的工作原理可分为容积水泵、叶片泵等类型。容积泵是利用其工作室容积的变化来传递能量;叶片泵是利用回转叶片与水的相互作用来传递能量,有离心泵、轴流泵和混流泵等类型。
油封式旋片泵(即油泵)
极限真空能
Agilent TV301分子泵销售厂家
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水泵性能的技术参数有流量、吸程、扬程、轴功率、水功率、效率等;根据不同的工作原理可分为容积水泵、叶片泵等类型。容积泵是利用其工作室容积的变化来传递能量;叶片泵是利用回转叶片与水的相互作用来传递能量,有离心泵、轴流泵和混流泵等类型。
油封式旋片泵(即油泵)
极限真空能到达10-3mbar,但油泵容易产生返油倒吸的问题,如果没有控制返流的安全阀,或者不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流,不合要求的安全阀也会引起油污染,从而导致分子泵提供的真空环境里会存在一定含量的碳氢化合物,影响使用;一般认为,轴间泄漏就是叶轮锁母没锁紧,其实导致轴间泄漏的因素较多,如轴间垫失效,偏移,轴间内有杂质,轴与轴套配合处有较大的形位误差,接触面破坏,轴上各部件间有间隙,轴头螺纹过长等都会导致轴间泄漏。并且油泵操作温度较高,如果散热效果较差,会直接影响客户的测试结果;另外还需要定时换油,总体来说维护成本高,能耗大。
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分子泵在半导体机械设备中的运用
在半导体材料生产加工加工工艺中,分子泵广泛运用于光刻技术、塑料薄膜堆积机器设备、离子注入机器设备、离子注入机等主要设备。Agilent TV301分子泵销售厂家
光刻技术是生产制造规模性集成电路芯片的关键机器设备,生产制造和维护保养必须高宽比的电子光学和电子工业基本,全世界仅有数生产厂家把握,因而光刻机价格价格昂贵。光刻技术光刻技术全过程务必在高真空中完成,缘故是极紫外线很娇气,在空气中非常容易耗损。升级完成的安捷伦生产流程管理系统,和新增的大量自动化生产装配工艺和设备,保证了产品的一致性,和质量的稳定性。另外,在光刻技术全过程中,机器设备的姿势时间误差以皮秒激光计,这对磁悬浮分子泵的震动值规定极高。(注:皮秒激光=兆分之一秒)Agilent TV301分子泵销售厂家
一切正常应用下,为何分子泵油池会出現裂痕或是形变?
缘故:超温,负荷大。
处理对策:查验制冷系,查验系统软件。Agilent TV301分子泵销售厂家
分子泵中常常掉出顶丝、镙钉等物件,如M5的顶丝等,我想问一下是不是对分子泵的应用有影响?应如何解决?
缘故:应是有时候产生的事儿,可能是均衡中忽略的均衡钉,对分子泵沒有危害。
处理方法:应是有时候产生的事儿,可能是均衡中忽略的均衡钉,对分子泵沒有危害。Agilent TV301分子泵销售厂家
进出口贸易法兰盘、冷却循环水安裝
①、泵通道:对正、对称性扭紧
②、泵出入口:避免 移位
③、冷却循环水:无渗水;通道压力0.2MPa;温度20±5℃;水体回应无沉淀
留意:
工作温度:风冷式需32℃;水冷散热能致40℃
通道气体压强:强制性风冷式<0.1Pa;当然风冷式<0.01Pa。Agilent TV301分子泵销售厂家
电缆线安裝常见问题
①、对正槽孔插进
②、用螺帽扭紧,边插边拧
③、查验及时。Agilent TV301分子泵销售厂家
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