化学气相沉积的应用
现代科学和技术需要使用大量功能各异的无机新材料,这些功能材料必须是高纯的,或者是在高纯材料中有意地掺入某种杂质形成的掺杂材料。但是,我们过去所熟悉的许多制备方法如高温熔炼、水溶液中沉淀和结晶等往往难以满足这些要求,也难以保证得到高纯度的产品。套棒被安装在拉丝塔的顶部,下端缓缓放入约2100℃的高温炉中,此端熔化后被拉成所需包层直径的光纤(通常为125c
气相化学沉积设备公司
化学气相沉积的应用
现代科学和技术需要使用大量功能各异的无机新材料,这些功能材料必须是高纯的,或者是在高纯材料中有意地掺入某种杂质形成的掺杂材料。但是,我们过去所熟悉的许多制备方法如高温熔炼、水溶液中沉淀和结晶等往往难以满足这些要求,也难以保证得到高纯度的产品。套棒被安装在拉丝塔的顶部,下端缓缓放入约2100℃的高温炉中,此端熔化后被拉成所需包层直径的光纤(通常为125cm),并进行双层涂覆和紫外固化。因此,无机新材料的合成就成为现代材料科学中的主要课题。
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化学气相沉积法在金属材料方面的使用
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化学气相沉积法生产几种金属薄膜
金属薄膜因其有着较好的高导电率、强催化活性以及极其稳定引起了研究者的兴趣。和生成金属薄膜的其他方式相比,化学气相沉积法有更多技术优势,所以大多数制备金属薄膜都会采用这种方式。2、产品优点及特点:应用于半导体薄膜、硬质涂层等薄膜制备,兼等离子体清洗、等离子体刻蚀。沉积金属薄膜用的沉积员物质种类比较广泛,不过大多是金属元素的卤化物和有机化合物,比如COCl2、氯化碳酰铂、氯化碳酰铱、DCPD化合物等等。
Goto 团队在金属薄膜用作电极材料上做了大量的工作。他们所使用的衬底材料有蓝宝石、石英玻璃以及氧化钇稳定化的二氧化锆(YSZ)等等。在成沉积时往装置中通入氧气是为了消除掉原料因热分解产生的碳,并制备出更有金属光泽的金属薄膜,如若不然则得到的就是铱碳簇膜,也就是纳米等级被晶碳层所包裹的铱颗粒。预真空室由机械泵单独抽真空,只有在预真空室真空度达到设定值时,才能打开隔离门,进行传送片。沉积在YSZ 上面的铱碳簇膜有着较好的电性能和催化活性。在比较低的温度下,铱碳簇膜的界面电导率能达到纯铱或者纯铂的百倍以上。金属和炭组成的簇膜是一种输送多孔催化活性强的簇膜,在电极材料上的使用在未来将很有潜力。
化学气相沉积法简介
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化学气相堆积(简称CVD)是反响物质在气态条件下发生化学反响,生成固态物质堆积在加热的固态基体外表,进而制得固体资料的工艺技术。它本质上归于原子领域的气态传质进程。
化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机资料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研发新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜资料。4)由于薄膜生长的温度比膜材料的熔点低得多,由此可以得到纯度高、结晶完全的膜层,这是有些半导体膜层所必须的。这些资料可所以氧化物、硫化物、氮化物、碳化物,也可所以III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物,并且它们的物理功用能够通过气相掺杂的淀积进程准确操控。现在,化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。
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