无尘车间管线组织电子洁净车间
无尘车间的管线十分复杂,所以对这些管线均选用隐蔽组织方法。详细隐蔽组织方法有以下几种。
(1)技能夹层
a、顶部技能夹层。在这种夹层内一般因送、回风管的断面,故作为夹层内首要考虑的目标。一般将其组织在夹层的上方,其下组织电气管线。当这种夹层的底板可接受必定分量时,能够在上面设置过滤器及排风设备等。
b、房间技能
电子洁净车间
无尘车间管线组织电子洁净车间
无尘车间的管线十分复杂,所以对这些管线均选用隐蔽组织方法。详细隐蔽组织方法有以下几种。
(1)技能夹层
a、顶部技能夹层。在这种夹层内一般因送、回风管的断面,故作为夹层内首要考虑的目标。一般将其组织在夹层的上方,其下组织电气管线。当这种夹层的底板可接受必定分量时,能够在上面设置过滤器及排风设备等。
b、房间技能夹层。这种方法和顶部夹层比较,能够削减夹层的布线与高度,能够省去回风管道返回上夹层所需的技能夹道。夹道内还可设回风机动力设备配电等,某层无尘车间的上夹道能够兼做上一层的下夹道。
(2)技能夹道(墙)
上下夹层内的水平管线一般都要转向为竖向管线,这此竖向管线地点的荫蔽空间即技能夹道。技能夹道还能够放置不宜在无尘车间内的一些辅佐设备,乃至还能够作为一般回风管道或静压箱,有的可安设光管型散热器。
这类技能夹道(墙)由于大多选用轻质间隔,所以当工艺调整时,可方便地进行调整。
无尘车间(洁净室)等级说明
首先是等级定义的模式如下:
Class X (at Y μm )
其中X是无尘室的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争,以下是几个例子:
Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)
Class 100(0.2μm , 0.5μm )
Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )
在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,10000....),一般看一个粒径即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10,1.... ),一般要看多几个粒径。
第二个技巧是规定无尘室的状态,例如:
Class X (at Y μm ),At-rest
供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。
第三个技巧是自订微粒浓度上限,一般在As-built时无尘室都很干净,微粒控制能力测试不易,这时可以干脆把验收上限压低,例如:
Class 10000 (0.3 μm <= 10000),As-built
Class 10000 (0.5 μm <= 1000),As-built
这样做的目的是确保无尘室在Operational状态时,依然有足够的微粒控制能力。
无尘车间的照明电子洁净车间
不同的洁净工业厂房照度按工艺要求的不同也有较大的差异,如显像管工厂的电子枪装配车间混合照明的照度要达到1000~3000 1x,除设置一般照明外,还需设置局部照明,局照明占混合照明照度的比例不能太大,一般照明照度为混合照明照度的5~15%。我国由于电力较紧张扩大了局部照明在混合照明中的照度比例。如果空间照度低,容易产生眩光,使人感到疲劳,但光源亮度不能太高,常选用荧光灯等线状光源或带磨砂玻璃的白炽灯。
其次,无尘车间中对光源有特殊要求的车间,如:显像管厂的荧光粉涂敷间、半导体厂房中的光刻间,为了防止感光材料的感光,必须使用黄色或红色光源的,应满足其特殊要求选用黄色荧光灯管或低压钠灯,黄色荧光灯管也有两种,一种为灯管内壁涂黄色荧光粉;另一种为白色荧光灯管外套黄色塑料套管,他们的光通量比一般荧光灯都要低。
(作者: 来源:)