公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
溅镀法(Sputtering):(1)上平行板:装载溅镀金属的靶材;下平行板:作为溅镀对象的玻璃基板。(2)将气(Ar 2 )通入反应舱中形成等离子体;离子(Ar + )在电场中被加速后冲撞靶材;受冲击的靶材原子会沉积在玻璃基板上从而形成
光刻板
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
溅镀法(Sputtering):(1)上平行板:装载溅镀金属的靶材;下平行板:作为溅镀对象的玻璃基板。(2)将气(Ar 2 )通入反应舱中形成等离子体;离子(Ar + )在电场中被加速后冲撞靶材;受冲击的靶材原子会沉积在玻璃基板上从而形成薄膜。
光罩(英文:Reticle, Mask),在制作IC的过程中,利用光蚀刻技术,在半导体上形成图型,为将图型於晶圆上,必须透过光罩作用的原理,类似于冲洗照片时,利用底片将影像至相片上。
硬刮和软刮:凹版印刷中的不同装法在印刷中所产生的效果是不样的。硬刮是指离支撑刀片较短,效果反差大,易磨损版辊,对解决版面不干净会有一点作用。软刮是指离支撑刀片距离较长点,效果是色调平缓,易产生灰雾。对于版上浅网部分的转移会有1定的帮助。
光刻掩膜版(又称光罩,英文为Mask Reticle),简称掩膜版,是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构,再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。
1) 绘制生成设备可以识别的掩膜版版图文件(GDS格式)2) 使用无掩模光刻机读取版图文件,对带胶的空白掩膜版进行非接触式曝光(曝光波长405nm),照射掩膜版上所需图形区域,使该区域的光刻胶(通常为正胶)发生光化学反应3) 经过显影、定影后,曝光区域的光刻胶溶解脱落,暴露出下面的铬层4) 使用铬刻蚀液进行湿法刻蚀,将暴露出的铬层刻蚀掉形成透光区域,而受光刻胶保护的铬层不会被刻蚀,形成不透光区域。这样便在掩膜版上形成透光率不同的平面图形结构。5) 在有必要的情况下,使用湿法或干法方式去除掩膜版上的光刻胶层,并对掩膜版进行清洗。光学玻璃是指能改变光的传播方向,并能改变紫外、可见或红外光的相对光谱分布的玻璃。
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