PVD是物理气相沉积技术的简称,是指在真空条件下,采用物理的方法将材料(俗称靶材或膜料)气化成气态分子、原子或离子,并将其沉积在工件形成具有某种特殊功能的薄膜的技术,常见的PVD沉积技术有:蒸发技术、溅射技术、电弧技术。
目前,提高NbFeB永磁材料耐腐蚀性能的方法有添加合金元素和外加防护性镀层,但主要以添加防护性镀层(金属镀层、有机物镀层和复合镀层)为主。防护性镀层可以
气相沉积设备公司
PVD是物理气相沉积技术的简称,是指在真空条件下,采用物理的方法将材料(俗称靶材或膜料)气化成气态分子、原子或离子,并将其沉积在工件形成具有某种特殊功能的薄膜的技术,常见的PVD沉积技术有:蒸发技术、溅射技术、电弧技术。
目前,提高NbFeB永磁材料耐腐蚀性能的方法有添加合金元素和外加防护性镀层,但主要以添加防护性镀层(金属镀层、有机物镀层和复合镀层)为主。防护性镀层可以阻碍腐蚀相与基体之间的相互接触从而减缓磁体的腐蚀。因此,选用现代化光学镀膜系统的关键取决于对以下因素的认真考虑:对镀膜产品的预期性能,基片的尺寸大小和物理特性以及保证高度一致性工艺所必需的所有技术因素。添加镀层的方法有电镀、化学镀、物理气相沉积等。
怎么保证真空镀膜设备镀膜效果与质量
真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜。真空镀膜设备若有灰尘,将会影响真空镀膜的效果和质量。首先,被镀膜材料表面肯定是有灰尘的,在尽量减小材料表面灰尘的前提下,我们还应当注意以下几点:
1、真空镀膜设备使用一段时间后,必须要对设备进行清洁维护;
2、规范操作人员及操作要求,包括穿戴的服装、手套、脚套等;
3、严格处理衬底材料,做到清洁干净,合乎工艺要求;
真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术,是表面工程技术领域的重要组成部分。随着制造业高速发展,真空镀膜技术应用越来越广泛。
真空镀膜机械行业,经过了几十年发展,形成了门类、布局合理,品种配套,真空镀膜技术水平与镀膜工业发展基本适应的体系,真空镀膜设备已经不能再叫新行业了,其是一个有能力的成熟行业,镀膜技术从重污染转为轻污染直至以后的无污染,是前提,随着更新型节能环保的真空机械设备研发必将改变整个工业。由于灰尘对镀膜效果会产生比较大的影响,因此为了避免在真空镀膜设备中留下灰尘,应该在使用中注意以上几点来尽量避免,除此也要注意经常清洗,避免灰尘越积越多。
真空镀膜机-操作步骤
一、电控柜的操作;
开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。 开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。
观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。
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