湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
公司拥有丰富的热处理行业经验、众多的行业人才、20多年来的引进消化再的实践,公司始终坚持走产学研相结合的道路,形成了的科技体系,使得公司能准确把握行业未来发展趋势,不
离子氮化
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
公司拥有丰富的热处理行业经验、众多的行业人才、20多年来的引进消化再的实践,公司始终坚持走产学研相结合的道路,形成了的科技体系,使得公司能准确把握行业未来发展趋势,不断提升辉光离子渗氮炉设计和制造水平,不断提升辉光离子渗氮炉加工服务水平,从而打造了公司的核心竞争力,为各界用户提供的产品与服务。由于是在次大气压条件下的辉光放电,处理环境的气氛浓度高,电子和离子的能量可达10eV以上。
采用不同成分的放电气体,可以在金属表面渗入不同的元素。和普通化学热处理相同,根据渗入元素的不同,有离子渗碳、离子渗氮、离子碳氮共渗、离子渗硼、离子渗金属等等。其中离子渗氮已在生产中广泛地应用。在阴-阳极间加上直流电压时,腔体内工作气体中剩余的电子和离子在电场的作用下作定向运动,于是电流从零开始增加。低压气体中显示辉光的气体放电(空气中的电子大概在1000对/cm3,由于高压放电现象在低气压状态下会产生辉光现象)现象。
Roth等人用离子捕获原理解释APGD,即当所用工作电压频率高到半个周期内可在极板之间捕获正离子,又不高到使电子也被1捕获时,将在气体间隙中留下空间电荷,它们影响下半个周期放电,使所需放电场强明显降低,有利于产生均匀的APGD。
根据电流脉冲个数及Lisajous图形(X轴为外加电压,Y轴为放电电荷量)的不同,他们提出了区分辉光放电和丝状放电的方法,即若每个外加电压半周期内仅1个电流脉冲,并且Lisajous图形为两条平行斜线,则为辉光放电。若半周期内多个电流脉冲,并且Lisajous图形为斜平行四边形,则为丝状放电。磁控靶的阴极接靶电源负极,阳极接靶电源正极,进入正常溅射时,一定是在气体放电伏-安特性曲线中的“异常辉光放电区段”运行。
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