湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
一种化学热处理炉,尤其涉及一种新型多功能辉光离子渗氮炉。该辉光离子渗氮炉包括内隔热屏,在内隔热屏内壁上装有发热体,发热体与电极间采用螺栓联接,发热体与内壁由陶瓷绝缘体隔离绝缘,绝缘体由螺栓固定在
离子氮化
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
一种化学热处理炉,尤其涉及一种新型多功能辉光离子渗氮炉。该辉光离子渗氮炉包括内隔热屏,在内隔热屏内壁上装有发热体,发热体与电极间采用螺栓联接,发热体与内壁由陶瓷绝缘体隔离绝缘,绝缘体由螺栓固定在隔热屏内壁上。
双极性脉冲中频靶电源一般带孪生靶或双靶运行。两个靶的工作电压极性相反同时又不断互换极性,电压极性为负时的磁控靶发生溅射,极性为正时的那个磁控靶不产生溅射。离子轰击工件表面还产生阴极溅射,溅射出铁离子与氮离子化合形成氮化铁FeN,FeN重新附着在工件表面,然后分解为Fe2N和Fe3N并放出氮原子向工件内扩散。由于阴阳极间电场正负极性来回变化,使电子路径延长,与工作气体碰撞次数增加,故单个磁控靶承载同样功率(其它真空环境条件相同)时,选用双极脉冲中频靶电源比用纯直流靶电源和脉冲直流中频靶电源时,工作气体的离化几率和靶材的沉积速率均要高一些。磁控靶阴极电压极性为负时,其单脉冲气体放电应与直流气体放电伏-安特性曲线异常辉光放电段及之前段的变化规律(趋势)相符。
辉光放电(glow discharge)是指低压气体中显示辉光的气体放电现象,即是稀薄气体中的自持放电(自激导电)现象。由法拉个发现。它包括亚正常辉光和反常辉光两个过渡阶段。辉光放电主要应用于乃稳压管、氦乃激光器等器件的制造。
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辉光放电时,在两个电极附近聚集了较多的异号空间电荷,因而形成明显的电位降落,分别称为阴极压降和阳极压降。阴极压降又是电极间电位降落的主要成分,在正常辉光放电时,两极间的电压不随电流变化,即具有稳压的特性。
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