湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。药品检验实验室作为药品厂QC检测的重要基地，一般由理化分析实验室、微生物实验室两个检验单元组成。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度30%时，又由于静电力的作用使粒
洁净室工程
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。药品检验实验室作为药品厂QC检测的重要基地，一般由理化分析实验室、微生物实验室两个检验单元组成。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45%。
为了避免电压瞬变、瞬时停电、电压不足等现象，可以根据需求选用不间断电源（UPS）。 进行精密仪器室设计的同时，也要做好相关配套化学处理室的设计工作，因为这在保护仪器和加强管理上是非常必要的
。乱流洁净室送风量：乱流洁净室送风量的理论计算（其中nv—洁净室换气次数，次/h；V—洁净室净体积，m3；G—单位容积发尘量，粒/（m3.min）；当空气中的粉尘通过电场时，粉尘受到负离子的冲击而带电，带有静电场后的粉尘电荷也同样受到静电场的作用，向阳极（集尘极）的运动是，到达阳极后释放电荷。N—乱流洁净室稳定含尘浓度，粒/L；S—回风量与送风量之比；ηh—回风通路上过滤器的总效率；ηx—新风通路上过滤器的总效率）
风道长度较长时,风道长度方向为高频消声提供了较大的自然衰减量,为低频消声不足而设置的低频消声器宜装在出风口附近。设计选用阻性消声器时,应防止高频失效的影响。当管径小于300mm时,可选用直管式消声器,大于300mm时,应选用片式、蜂窝式、折板式或声流式等消声器。环氧防腐地坪既能应对高强度的叉车作业，而且具有很强的抗化学腐蚀性，满足实验室中的特殊要求。对于高温、高压、高速排气放空噪声,应设计和选用节流降1压小孔喷注放空消声器。
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