湖北丰热科技有限公司（原武汉离子热处理研究所），制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
离子渗氮炉是将被处理的工件放置在真空容器中，在辉光放电条件下进行渗氮。离子渗氮炉是将被处理的工件放置在真空容器中，在辉光放电条件下进行渗氮。离子渗氮炉包括炉体、真空系统、供气系统、测温系统及控制
武汉等离子体技术研究所
湖北丰热科技有限公司（原武汉离子热处理研究所），制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
离子渗氮炉是将被处理的工件放置在真空容器中，在辉光放电条件下进行渗氮。离子渗氮炉是将被处理的工件放置在真空容器中，在辉光放电条件下进行渗氮。离子渗氮炉包括炉体、真空系统、供气系统、测温系统及控制系统所组成。
选用正弦波中频靶电源，由于波形的原因，靶面产生打弧的几率更低并优于双极性矩形波中频靶电源。更适合于对薄膜表面和膜层质量要求较高的溅射工艺。这些光区是空间电离过程及电荷分布所造成的结果，与气体类别、气体压力、电极材料等因素有关，这些都可以从放电理论上作出解释。一般来说，射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比，可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如，1.0×1-2Pa)。
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在阴极附近，二次电子发射产生的电子在较短距离内尚未得到足够的能使气体分子电离或激发的动能，所以紧接阴极的区域不发光。而在阴极辉区，电子已获得足够的能量碰撞气体分子，使之电离或激发发光。离子渗氮炉是将被处理的工件放置在真空容器中，在辉光放电条件下进行渗氮。1831~1835年,M.法拉第在研究低气压放电时发现辉光放电现象和法拉第暗区。1858年,J.普吕克尔在1/100托下研究辉光放电时发现了阴极射线，成为19世纪末粒子辐射和原子物理研究的先驱。
Roth等人在实验室的一台气体放电等离子体实验装置中实现了Ar、He和空气的“APGD”。1992年，Roth小组在5mm氦气间隙实现了APGD，并声称在几个毫米的空气间隙中也实现了APGD,主要的实验条件为湿度15%、气体流速50l/min、频率为3kHz的电源并且和负载阻抗匹配。1993年Okazaki小组利用金属丝网（丝直径0.035mm，325目）电极为PET膜（介质）、频率为50Hz的电源，在1.5mm的气体（亚气、氮气、空气）间隙中做了大量的实验，并宣称实现了大气压辉光放电。
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