小型磁控溅射仪的优势
设备主要优势
实用性:设备集成度高,结构紧凑,占地面积小,可以满足客户实验室空间不足的苛刻条件;通过更换设备上下法兰可以实现磁控与蒸发功能的转换,实现一机多用;
方便性:设备需要拆卸的部分均采用即插即用的方式,接线及安装调试简单,既保证了设备使用方便又保证了设备的整洁;
高性价比:设备主要零部件采用进口或国内,以国产设备
磁控溅射沉积设备厂家
小型磁控溅射仪的优势
设备主要优势
实用性:设备集成度高,结构紧凑,占地面积小,可以满足客户实验室空间不足的苛刻条件;通过更换设备上下法兰可以实现磁控与蒸发功能的转换,实现一机多用;
方便性:设备需要拆卸的部分均采用即插即用的方式,接线及安装调试简单,既保证了设备使用方便又保证了设备的整洁;
高性价比:设备主要零部件采用进口或国内,以国产设备的价格拥有进口设备的配置,从而保证了设备的质量及性能;
安全性:独立开发的PLC+触摸屏智能操作系统在传统操作系统的基础上新具备了漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能,保证了设备的使用安全性能;
期望大家在选购磁控溅射产品时多一份细心,少一份浮躁,不要错过细节疑问。想要了解更多磁控溅射产品的相关资讯,欢迎拨打图片上的热线电话!!!
直流磁控溅射技术的原理
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——生产、销售磁控溅射产品,我们公司坚持用户为上帝,想用户之所想,急用户之所急,以诚为本,讲求信誉,以产品求发展,以质量求生存,我们热诚地欢迎各位同仁合作共创。
直流磁控溅射技术其原理是:在磁控溅射中,由于运动电子在磁场中受到洛仑兹力,它们的运动轨迹会发生弯曲甚至产生螺旋运动,其运动路径变长,因而增加了与工作气体分子碰撞的次数,使等离子体密度增大,从而磁控溅射速率得到很大的提高,而且可以在较低的溅射电压和气压下工作,降低薄膜污染的倾向;另一方面也提高了入射到衬底表面的原子的能量,因而可以在很大程度上改善薄膜的质量。同时,经过多次碰撞而丧失能量的电子到达阳极时,已变成低能电子,从而不会使基片过热。晶格有序度的均匀性:这决定了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空镀膜技术中的热点问题。因此磁控溅射法具有“高速”、“低温”的优点。
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