头部集成了薄膜厚度测量所需功能
通过显微光谱法测量高i精度绝i对反射率（多层膜厚度，光学常数）
1点1秒高速测量
显微分光下广范围的光学系统（紫外至近红外）
区域传感器的安全机制
易于分析向导，初学者也能够进行光学常数分析
独立测量头对应各种inline客制化需求
支持各种自定义
测量
OPTM膜厚仪
头部集成了薄膜厚度测量所需功能
通过显微光谱法测量高
i精度绝
i对反射率（多层膜厚度，光学常数）
1点1秒高速测量
显微分光下广范围的光学系统（紫外至近红外）
区域传感器的安全机制
易于分析向导，初学者也能够进行光学常数分析
独立测量头对应各种inline客制化需求
支持各种自定义
测量项目：
绝
i对反射率测量
多层膜解析
光学常数分析（n：折射率，k：消光系数）
大塚电子（苏州）有限公司主要销售用于光学特性评价检查的装置。其装置用于在LED、 OLED、汽车前灯等的光源照明产业以及液晶显示器、有机EL显示器等平板显示产业以及其相 关材料的光学特性评价检查。欢迎新老客户来电咨询！
硬涂层膜厚度的测量[FE-0004]
近年来，使用具有各种功能的高
i性能薄膜的产品被广泛使用，并且根据应用不同，还需要提供具有诸如摩擦阻力，抗冲击性，耐热性，薄膜表面的耐化学性等性能的保护薄膜。通常保护膜层是使用形成的硬涂层（HC）膜，但是根据HC膜的厚度不同，可能出现不起保护膜的作用，膜中发生翘曲，或者外观不均匀和变形等不良。 因此，管理HC层的膜厚值很有必要。
考虑到表面粗糙度测量的膜厚值[FE-0007]
当样品表面存在粗糙度（粗糙度）时，将表面粗糙度和空气（air）及膜厚材料以1：1的比例混合,模拟为“粗糙层”，可以分析粗糙度和膜厚度。此处示例了测量表面粗糙度为几nm的SiN（氮化硅）的情况。
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