电火花加工是机械制造工业中的一种新型加工工艺,电火花加工可以对许多硬度较大的金属进行加工,并可加工形状复杂、精度要求较高的零部件,作为阳极的工具电极可以使用铜质材料,也可使用石墨材料。
因此电火花加工用石墨一般都采用细颗粒结构石墨或特细颗粒结构石墨,在物理性能上比较好的是各向同性。所以目前电火花加工石墨材料市场上用得较多的是细颗粒结构的各向同性石墨。
高纯
石墨毡加工
电火花加工是机械制造工业中的一种新型加工工艺,电火花加工可以对许多硬度较大的金属进行加工,并可加工形状复杂、精度要求较高的零部件,作为阳极的工具电极可以使用铜质材料,也可使用石墨材料。
因此电火花加工用石墨一般都采用细颗粒结构石墨或特细颗粒结构石墨,在物理性能上比较好的是各向同性。所以目前电火花加工石墨材料市场上用得较多的是细颗粒结构的各向同性石墨。
高纯石墨一般指含碳量在99.99%以上的石墨,在组织结构上可分为粗颗粒结构、细颗粒结构和超细颗粒结构三类,高纯石墨大量用于直拉单晶硅炉中。集成电路的基础材料主要是硅单晶芯片,目前硅单晶的成长工艺主要采用直拉法,其他方法还有磁场直拉法、区域法以及双坩埚拉晶法,直拉单晶硅炉中的石墨件是消耗品,采用高纯石墨材料加工成直拉单晶硅炉的加热系统。

当然,为了进一步缩小性能上的差异,除关键的等静压机成型外,尚需在炭质颗粒结构和工艺上进一步调整。各向同性石墨材料的特征,是石墨各方向测定的性能都是等同性的(异方性)。它的异方向性为1. 0- 1. 1,一般为1. 02- 1. 06。此外,各向同性石墨的体积密度、机械强度等与普通石墨相比,其性能要高一个档次,如体积密度为1. 70- 1. 90g/ cm3(普通石墨为1. 60- 1. 80 g/ cm3 ),抗折强度为35- 90MPa(普通石墨为25- 45MPa)等。

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