湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
其基本炉型有罩式、井式、卧式,但是通常以罩式为常见。轰击表面的一部分氮夺取电子后直接渗人工件表面,在工件表面上形成含氮很高的呈蒸发状态的Fe,并不断向工件内部扩散,从而达到渗氮的目的。
武汉等离子
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
其基本炉型有罩式、井式、卧式,但是通常以罩式为常见。轰击表面的一部分氮夺取电子后直接渗人工件表面,在工件表面上形成含氮很高的呈蒸发状态的Fe,并不断向工件内部扩散,从而达到渗氮的目的。
磁控靶射频放电的阴极是电容耦合电极,阳极接地;射频电压可以穿过任何种类的阻抗,所以电极就不再要求是导体;电容耦合穿过绝缘材料或空间,电极就不再限于导电材料,可以溅射任何材料,因此射频辉光放电广泛用于绝缘或介质材料的溅射沉积镀膜。
Roth等人用离子捕获原理解释APGD,即当所用工作电压频率高到半个周期内可在极板之间捕获正离子,又不高到使电子也被1捕获时,将在气体间隙中留下空间电荷,它们影响下半个周期放电,使所需放电场强明显降低,有利于产生均匀的APGD。
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