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内蒙古离子氮化炉电话“本信息长期有效”

湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。 工件放人炉内作为阴极,炉体作为阳极,再通人少量氨、氮或氮亚混合气体,然后在两极间施加一定电压使氮电离,氮电离后即以髙速冲击工件,离子的动能转化为热能将工件加热至渗氮温度。 两种靶电
离子氮化炉








湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。



工件放人炉内作为阴极,炉体作为阳极,再通人少量氨、氮或氮亚混合气体,然后在两极间施加一定电压使氮电离,氮电离后即以髙速冲击工件,离子的动能转化为热能将工件加热至渗氮温度。




两种靶电源不同之处:选用(工艺型)双极矩形波或正弦波中频靶电源,因其输出的电压和电流的占空比可以大范围连续调节,镀膜时电源的工艺参数适应范围比“经济型”中频靶电源要宽很多;适用于需要经常变化的磁控溅射镀膜工艺和不同材质的膜层。Roth等人用离子捕获原理解释APGD,即当所用工作电压频率高到半个周期内可在极板之间捕获正离子,又不高到使电子也被1捕获时,将在气体间隙中留下空间电荷,它们影响下半个周期放电,使所需放电场强明显降低,有利于产生均匀的APGD。(经济型)双极性矩形波或正弦波中频靶电源的输出电压或电流的工艺调节范围偏窄,若相关参数选配合适,一般可用于磁控溅射镀膜工艺相对固定和单一的工业生产中,其优点是靶电源价格可以相对便宜。




目前,对APGD的研究结果和认识是仁者见仁,智者见智。装炉有严格要求,装炉不妥或形状不同、大小不同的零件混装炉容易出现渗层不均匀等疵病,造成废品或返修。APGD的研究方兴未艾,已经受到国内外许多大学和研究机构的广泛重视。由于大气压辉光放电目前还没有一个认可标准,许多实验所看到的放电现象和辉光放电很相似即出现视觉特征上呈现均匀的“雾状”放电,而看不到丝状放电,但这种放电现象是否属于辉光放电目前还没有共识和定论。



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