等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的后型自由基，这些活性粒子和部分废气分子碰撞结合，能与有害气体分子发生化学反应，后生成无害产物。
物理作用表现在具有荷电集尘作用。等离子体中的大量电子与颗粒污染物发生非弹性碰撞并粘附其表面从而使其荷电，在电场作用下，颗粒污染物被集尘极收集。
开关电源和线
低温等离子蜂窝电场
等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的后型自由基，这些活性粒子和部分废气分子碰撞结合，能与有害气体分子发生化学反应，后生成无害产物。
物理作用表现在具有荷电集尘作用。等离子体中的大量电子与颗粒污染物发生非弹性碰撞并粘附其表面从而使其荷电，在电场作用下，颗粒污染物被集尘极收集。
开关电源和线性电源、相控电源的比较
开关电源
是一个能量转换器作为电源的功率器件工作在开关状态
开关管、电感、高频变压器、电容、整流二极管开或关状态其
特点是频率高、功耗低、工作、体积小、输入范围宽(Switching
Regulator --A switching circuit that operates in a closed loop
system to regulate the power supply output)通过闭环系统调节使
输出电压保持稳定
线性电源
线性电源的主要特点就是功率器件工作在放大状态具有
稳定度高、可靠性好、成本低等优点但是效率低、笨重和体积大的缺
点。只能做中、小功率的电源。
相控电源
是通过控制可控硅的导通角来达到稳压作用功率因数比
较低、效率低、笨重、体积大。
开关电源swichingmode power supply
开关电源因为体积小、已经充斥了我们的日常生活从移动电
话的充电器到我们的彩电、音像供电电源从路边的霓虹灯到车站
的电子显示牌这些都用到了开关电源从我们的台式计算机到便携
笔记本电脑等等这些都离不开开关电源。
当然开关电源的输入并不限于是交流AC/DC电源还可以是直流
DC/DC电源和DC/AC电源。开关电源交流输入电压范围比较宽可
以从几十伏到上千伏。就目前而言开关电源的控制方式有两种脉宽
调制和频率调制Pulse Frequency Modulation PFM。脉宽调制
Pulse Width ModulationPWM方式比较常见.
一种高频高压电源，利用交直流叠加技术，产生高频上升沿的交流脉冲，满足产生低温等离子体的需求。实验表明，交直流叠加电源能够产生良好的低温等离子体。
高频开关电源的基本原理
一、高频开关电源的组成
高频开关整流器通常由工频滤波电路、工频整流电路、功率因数校正电路、
直流-直流变换器和输出滤波器等部分组成，
输入回路的作用是将交流输入电压整流滤波变为平滑的高压直流电压;功率变换器的作用是将高压直流电压转换为频率大于20KHZ的高频脉冲电压;整流滤波电路的作用是将高频的脉冲电压转换为稳定的直流输出电压;开关电源控制器的作用是将输出直流电压取样,来控制功率开关器件的驱动脉冲的宽度,从而调整开通时间以使输出电压可调且稳定.从框图中可见,由于高频变压器取代<
