随着微机电技术的发展，如今的电容式加速度传感器都普遍采用的MEMS技术制造。下图显示了一种MEMS变电容式加速度传感器的结构，它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极，中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心质量块的形状，薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。2、若电源的容量很小，就会出现很多情况的，所以，供电电源需要有充分的容
山西电容位移传感器
随着微机电技术的发展，如今的电容式加速度传感器都普遍采用的MEMS技术制造。下图显示了一种MEMS变电容式加速度传感器的结构，它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极，中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心质量块的形状，薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。2、若电源的容量很小，就会出现很多情况的，所以，供电电源需要有充分的容量。另外，在薄膜上还有刻蚀出的小孔，当薄膜随质量块运动时，空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用MEMS技术得到了这种一体化的结构，它的可靠性是相当高的。
电容式测量原理特性：采用电容式测量原理，需要洁净和干燥的环境，否则传感器探头和被测物体之间的物质介电常数的变化会影响测量结果。我们也推荐任何时候，都尽量缩短探头到控制器之间的电缆长度。对于标准设备，配备前置放大器，电缆长度设定为1m， （根据不同的模块选择，能到3m）。主要用于解决压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等测量问题。如果配备外置放大器，探头到控制器之间的电缆长度可以达到20m。
电容位移传感器一般用于需要很高的精度的应用环境。他们被用于测量振动，振荡，膨胀，位移，挠度和形变等等测量任务。因此，电容式位移传感器经常被用作。
新型的电容位移，分辨率可以达到纳米级别。源于的温度稳定性，在剧烈的温度波动情况下，电容式传感器是理想的选择。
左侧隔离膜片比右侧隔离膜片更清晰。在这张照片中清晰可见的一个特征是左侧隔离膜片与内部金属框架之间的间隙较小，而传感膜片所在的宽敞腔室则较小。
回想一下，这些内部空间通常由填充流体占据，其目的是将压力从隔离膜传递到传感膜片。如前所述，实心金属框架限制了每个隔离膜片的行程，使得高压隔离膜片在传感膜片被推过其弹性极限之前在金属框架上“底部”。电容式传感器结构简单,易于制造,可做得非常小巧，以实现某些特殊的测量。通过这种方式，可以保护传感膜片免受过压损坏，因为隔离膜片根本不允许再移动得更远。
什么是振动？首先，在进行深入讨论振动之前，我们需要对振动进行定义。振动可以定义为设备对于平衡位置的机械振动。
在工业现场设备中产生振动是正常的，的但是有时候异常的振动就是设备不正常的表现。这就是为什么经验丰富的老师傅，靠听就知道设备哪里有问题。
在机器监控中，会有两种类型的振动：轴向振动和径向振动。
“轴向”振动是纵向轴振动或平行于电机轴的振动。例如，联轴器未对准可能会引起轴向振动。
“径向”振动是指从轴向外施加的力。如负载没有做动平衡，则会发生径向振动。这个很好理解，就像自行车轮是瓢的，骑起来一定很费力一样。
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