PE镀膜后四周发白浅析，近期经常接到客户咨询，石墨舟镀膜后发现膜后的片子四周发白或四周发红。并且如果是新舟直接用就没有这个问题，用了循环后，清洗后就会发现这个问题。
这次就问题发生的原因做一个说明，并且给大家一些解决方法。
一般来说我们机台出现问题基本上为三类，偏红，正常蓝，偏白（对应表中的淡蓝色，无明确的白色膜厚，此时的白色部分膜厚接近90左右）
硅
PECVD石墨舟销售
PE镀膜后四周发白浅析，近期经常接到客户咨询，石墨舟镀膜后发现膜后的片子四周发白或四周发红。并且如果是新舟直接用就没有这个问题，用了循环后，清洗后就会发现这个问题。
这次就问题发生的原因做一个说明，并且给大家一些解决方法。
一般来说我们机台出现问题基本上为三类，偏红，正常蓝，偏白（对应表中的淡蓝色，无明确的白色膜厚，此时的白色部分膜厚接近90左右）
硅片在PECVD工序之前是常规的灰白色，通过一定的化学反应在片子表面生成一层膜。片子工艺结束后，就会得到我们需要的工艺颜色。
模具抛光不要一开始就使用细的油石，砂纸，研磨抛光膏，那样是不能把粗的纹路抛掉的。那样打磨出来的活的表面看起来很光亮，但是侧面一照，粗的纹路就显现出来了。因此，要先从粗的油石，砂纸或者研磨抛光膏打磨，然后再换比较细的油石，砂纸或研磨抛光膏进行打磨，再用细的研磨抛光膏进行抛光。这样看起来好像比较麻烦，工序多。实际上并不慢，一道接一道的工序，将前面粗的加工纹路打磨掉，再进行下面的工序，不会返工，一次走下来就可以使模具的光洁度达到要求。
但是在使用石墨制品加工件时，为避免设备结构脱落，也需要注意一些问题。通常情况下，如坩埚等一类的石墨制品可以直接受热，但在加热后不能立即冷却，将其取下后也不要放在冷的金属桌面上，避免石墨制品加工件由于急剧冷却降温而发生破损。此外，在使用石墨制品时一定要留意设备的完好性，看是否有明显的裂痕存在，且在使用后要定期进行检查，若长期不使用还应进行一定的清洁工作，确保石墨制品加工件在使用的过程中不会因为表面残渣而造成损坏。此外，应以正确的操作方法使用，避免错误的方法给石墨制品造成损坏。
（作者： 来源：）
