广州帕纳光电科技有限公司----Agilent分子泵销售维修中心;
采用全新设计和制造方法所推出的款真空产品,它延续了前代产品所具有的超高压缩比、出色的极限真空、非常好的前级耐压和无油等特点;更结合了突破性技术,拥有的质量和可靠性的同时,它紧凑的设计更包含了众多让人眼亮的全新功能。
现代分子泵的基本结构基本定型为为卧式和立式两种。卧式分子泵具有抽气时转子
Agilent分子泵销售维修中心
广州帕纳光电科技有限公司----Agilent分子泵销售维修中心;
采用全新设计和制造方法所推出的款真空产品,它延续了前代产品所具有的超高压缩比、出色的极限真空、非常好的前级耐压和无油等特点;更结合了突破性技术,拥有的质量和可靠性的同时,它紧凑的设计更包含了众多让人眼亮的全新功能。
现代分子泵的基本结构基本定型为为卧式和立式两种。卧式分子泵具有抽气时转子受力均匀,轴承定位受力状态好,使用寿命长,轴承更换过程中转子位置不动,维修方便等特点。立式分子泵的装配工艺要比卧式分子泵简单,所以近些年立式分子泵的发展速度很快。
水泵是输送液体或使液体增压的机械。它将原动机的机械能或其他外部能量传送给液体,使液体能量增加,主要用来输送液体包括水、油、酸碱液、乳化液、悬乳液和液态金属等。也可输送液体、气体混合物以及含悬浮固体物的液体。
1. 分子泵必须在分子流状态下工作,在分子流范围内,气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距,而气体分子的平均自由程长度会随着容器压力下降而增加,因此分子泵如果直接抽取大气,反而无法显示出它的优越性。
广州帕纳光电科技有限公司----Agilent分子泵销售维修中心;
分子泵在半导体机械设备中的运用
在半导体材料生产加工加工工艺中,分子泵广泛运用于光刻技术、塑料薄膜堆积机器设备、离子注入机器设备、离子注入机等主要设备。Agilent分子泵销售维修中心
光刻技术是生产制造规模性集成电路芯片的关键机器设备,生产制造和维护保养必须高宽比的电子光学和电子工业基本,全世界仅有数生产厂家把握,因而光刻机价格价格昂贵。(2)气体处于分子流状态,故需要配备前级泵,一般使用旋片泵作为前级泵。光刻技术光刻技术全过程务必在高真空中完成,缘故是极紫外线很娇气,在空气中非常容易耗损。另外,在光刻技术全过程中,机器设备的姿势时间误差以皮秒激光计,这对磁悬浮分子泵的震动值规定极高。(注:皮秒激光=兆分之一秒)Agilent分子泵销售维修中心
(作者: 来源:)