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涂敷过程在真空下进行，称它为蒸汽沉积聚合（VDP）,作为一种涂敷技术，VDP提供了可靠的性，明显要由于刷涂，浸涂，喷涂等其它涂敷技术。它的性主要来源于它是由气相单体直接形成固体涂层而没有一个液态的中间过度阶段。因此在传统方法中由于表面张力而引起的从棱刃处流淌到低的沟槽里积料的现象它不会发生。Parylene涂层是从基材的表面向外“生长”，形成一个均匀厚度的敷形涂层，好多试验证明这种涂敷处理涂层厚度在1微米以下时也是无的。

Parylene涂层是在室温下在元件上自发形成的

Parylene涂层是在室温下在元件上自发形成的，不需要经升温固化过程，不需要对基材施加室温以上的温度和更多的时间来让膜生长。由于这种聚合物是自发的不需要催化剂。 促进聚合的催化剂通常是离子或离子化合物，固化后它们会多少残留一些在涂层里。这些残留的物质能参与电荷的迁移，在一定程度上影响涂层的电性能。又由于Parylene涂层是在室温下形成的，因此可以防止主要因室温和固化温度变化不同由热膨胀引起的应力问题。

作为涂层，Parylene的超薄、无孔隙、均匀、同形性好、耐腐蚀、与人体组织及血液相容等一系列优点，使其在生物医学领域应用广泛，Parylene不仅提供了惰性、生物相容的隔离层，可有效防止外界的化学品、水分和体液的侵蚀，同时增加了器件表面的干润滑性和绝缘性能。

Parylene用的真空气相沉积工艺制备，由活性小分子在基材表面“生长”出完全敷形的聚合物薄膜涂层，具有其他涂层难以比拟的性能优势。它能涂敷到各种形状的表面，包括这种室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层，厚度均匀、致密无、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性，是当代的防潮、防霉、防腐、防盐雾涂层材料。