湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
用于磁控溅射镀膜气体放电的交流电源主要有双极性脉冲(矩形波或正弦波)中频靶电源与射频靶电源两大类别。双极脉冲中频靶电源用于辉光放电。矩形波或正弦波中频靶电源进行1气体辉光放电有很多共同特点
渗氮
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
用于磁控溅射镀膜气体放电的交流电源主要有双极性脉冲(矩形波或正弦波)中频靶电源与射频靶电源两大类别。双极脉冲中频靶电源用于辉光放电。矩形波或正弦波中频靶电源进行1气体辉光放电有很多共同特点
经过近20年的发展,低气压低温等离子体已取得了很大进展。离子渗氮是在低真空含氮气氛中,利用模具(阴极)和阳极之间产生的辉光放电进行渗氮的工艺,与气体渗氮相比工作环境好。但由于其运行需抽真空、设备投资大、操作复杂、不适于工业化连续生产,限制了它的广泛应用。低气压下的辉光放电虽然可以处理这些材料,但存在成本、处理效率等问题,目前无法规模化应用于纺织品的表面处理。长期以来人们一直在努力实现大气压下的辉光放电(APGD)。
2003年,自然科学基2金委2员会将“大气压辉光放电”列为重点研究项目。次大气压下辉光放电(HAPGD)由于大气压辉光放电技术目前虽有报道但技术还不成熟,没有见到可用于工业生产的设备。APGD的研究也取得了一些进展,如He、Ne、Ar、Krypton惰性气体在大气压下基本实现了APGD,空气也已经实现了用眼睛看上去比较均匀的准“APGD”。
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