湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
公司拥有丰富的热处理行业经验、众多的行业人才、20多年来的引进消化再的实践,公司始终坚持走产学研相结合的道路,形成了的科技体系,使得公司能准确把握行业未来发展趋势,不
等离子技术研究所
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
公司拥有丰富的热处理行业经验、众多的行业人才、20多年来的引进消化再的实践,公司始终坚持走产学研相结合的道路,形成了的科技体系,使得公司能准确把握行业未来发展趋势,不断提升辉光离子渗氮炉设计和制造水平,不断提升辉光离子渗氮炉加工服务水平,从而打造了公司的核心竞争力,为各界用户提供的产品与服务。两个面积相等的电极置于射频辉光放电等离子体中,不可能建立阴极靶表面的负偏压,不可能产生溅射。
低压气体放电的一种类型,在发射光谱分析中用作气体分析和难激发元素分析的激发光源。在玻璃管两端各接一平板电极,充入惰性气体,加数百伏直流电压,管内便产生辉光放电,其电流为10-4~10-2A。用于磁控溅射镀膜气体放电的交流电源主要有双极性脉冲(矩形波或正弦波)中频靶电源与射频靶电源两大类别。放电形式与气体性质、压力、放电管尺寸、电极材料、形状和距离有关。
根据电流脉冲个数及Lisajous图形(X轴为外加电压,Y轴为放电电荷量)的不同,他们提出了区分辉光放电和丝状放电的方法,即若每个外加电压半周期内仅1个电流脉冲,并且Lisajous图形为两条平行斜线,则为辉光放电。辉光放电的特征是电流强度较小(约几毫安),温度不高,故电管内有特殊的亮区和暗区,呈现瑰丽的发光现象。若半周期内多个电流脉冲,并且Lisajous图形为斜平行四边形,则为丝状放电。
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