基本功能模块
数据分析及导出 :所有数据可按照用户设定的时间段进行导出,方便实验数据分析
实时曲线图,历史曲线图 : 简单直观查看历史曲线和实时曲线,方便过程监控
自动浓度配气 :针对配气实验需要,可实现浓度自动换算,或根据浓度值自动分配流量
MFC故障诊断:针对不同型号的MFC可实现故障诊断、报警、处理等功能。
自动吹扫:根据用户需要,自动设定吹
智能气路控制系统价格
基本功能模块
数据分析及导出 :所有数据可按照用户设定的时间段进行导出,方便实验数据分析
实时曲线图,历史曲线图 :简单直观查看历史曲线和实时曲线,方便过程监控
自动浓度配气 :针对配气实验需要,可实现浓度自动换算,或根据浓度值自动分配流量
MFC故障诊断:针对不同型号的MFC可实现故障诊断、报警、处理等功能。
自动吹扫:根据用户需要,自动设定吹扫时间及吹扫方式
自动检漏 :可通过截止阀的联动,配以一定算法,实现自动检漏功能
以上内容由晓韬科技为您提供,今天我们分享的是智能气路系统的相关内容,希望对有需要的朋友能有所帮助!

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