湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
选用正弦波中频靶电源,由于波形的原因,靶面产生打弧的几率更低并优于双极性矩形波中频靶电源。更适合于对薄膜表面和膜层质量要求较高的溅射工艺。根据电流脉冲个数及Lisajous图形(X轴为外加电压
电机齿轮离子氮化炉
湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
选用正弦波中频靶电源,由于波形的原因,靶面产生打弧的几率更低并优于双极性矩形波中频靶电源。更适合于对薄膜表面和膜层质量要求较高的溅射工艺。根据电流脉冲个数及Lisajous图形(X轴为外加电压,Y轴为放电电荷量)的不同,他们提出了区分辉光放电和丝状放电的方法,即若每个外加电压半周期内仅1个电流脉冲,并且Lisajous图形为两条平行斜线,则为辉光放电。一般来说,射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比,可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如,1.0×1-2Pa)。
1992年,Roth小组在5mm氦气间隙实现了APGD,并声称在几个毫米的空气间隙中也实现了APGD, 主要的实验条件为湿度15% 、气体流速50l/min、频率为3kHz的电源并且和负载阻抗匹配。离子渗氮可以使渗氮的周期缩短60%~70%,简化工序,零件变形小,产量好,节约能源,无污染,是近年发展较快的热处埋工艺。他们认为“离子捕获”是实现APGD的关键。
从上个世纪末,国内许多单位如科罗纳实验室、清华大学、大连理工大学、华北电力大学、西安交通大学、华中科技大学、中科院物理所、河北师范大学等先后开始了对APGD的研究。公司是经科学技术1部认定的“火炬计划重点高新技术企业”、是按高企认定新标准经湖北省高新技术企业认定管理工作协调小组认定的“高新技术企业”。由于APGD在织物、镀膜、环保、薄膜材料等技术里域有着诱人的工业化应用前景,在大气压下和空气中实现辉光放电产生低温等离子体一直是国内外学者探寻的研究重点和热点。
次大气压下辉光放电的视觉特征呈现均匀的雾状放电;放电时电极两端的电压低而功率密度大;处理纺织品和碳纤维等材料时不会出现击穿和燃烧并且处理温度接近室温。次大气压辉光放电技术目前可用于低温材料、生物材料、异型材料的表面亲水处理和表面接枝、表面聚合、金属渗氮、冶金、表面催化、化学合成等工艺。由于是在次大气压条件下的辉光放电,处理环境的气氛浓度高,电子和离子的能量可达10eV以上。材料批处理的效率要高于低气压辉光放电10倍以上。实现了辉光离子渗氮炉真正的全自动控制,即用户在使用辉光离子渗氮炉时,只需在触摸屏上点击启动键,所有的操作步骤会由程序自动控制。 可处理金属、非金属、(碳)纤维、金属纤维、微粒、粉末等。
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