Parylene真空微米涂装是一种新型的涂装技术 Parylene真空微米涂装(高分子封装)是国外开发应用的一种新型的涂装技术。的「真空气相沉积」制程,是在常温的真空室中,让活性分子在被涂装的物件表面生成完全披覆的聚合物薄膜。可涂装到任何形状的表面,且不产生死角。包括尖锐的錂角隙缝内部与极细微的中。膜厚均可达到一致性的被覆在产品的任何部位。则薄膜厚度可由(0.00
五金真空镀膜
Parylene真空微米涂装是一种新型的涂装技术
Parylene真空微米涂装(高分子封装)是国外开发应用的一种新型的涂装技术。的「真空气相沉积」制程,是在常温的真空室中,让活性分子在被涂装的物件表面生成完全披覆的聚合物薄膜。可涂装到任何形状的表面,且不产生死角。包括尖锐的錂角隙缝内部与极细微的中。膜厚均可达到一致性的被覆在产品的任何部位。则薄膜厚度可由(0.001mm-0.05mm)。
Parylene的真空气相沉积工艺
Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
Parylene能在0.2um厚时就完全没有,5um时就能耐1000V以上直流击穿电压,又是摩擦系数很低的一种自润滑材料,化学惰性和阻隔性能也好,因此在微电子机械系统中,除了作电介质材料外,还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。

作为涂层,Parylene的超薄、无孔隙、均匀、同形性好、耐腐蚀、与人体组织及血液相容等一系列优点,使其在生物医学领域应用广泛,Parylene不仅提供了惰性、生物相容的隔离层,可有效防止外界的化学品、水分和体液的侵蚀,同时增加了器件表面的干润滑性和绝缘性能。
Parylene用的真空气相沉积工艺制备,由活性小分子在基材表面“生长”出完全敷形的聚合物薄膜涂层,具有其他涂层难以比拟的性能优势。它能涂敷到各种形状的表面,包括这种室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层,厚度均匀、致密无、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性,是当代的防潮、防霉、防腐、防盐雾涂层材料。
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