无尘车间的原则:
无尘车间里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调(HVAC)、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。3、管道保温材料要根据设计要求选择，一般有闭孔PVC橡塑管壳、加筋铝箔的离心玻璃棉管壳。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能地压缩前
十万级无尘车间
无尘车间的原则:
无尘车间里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调(HVAC)、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。3、管道保温材料要根据设计要求选择，一般有闭孔PVC橡塑管壳、加筋铝箔的离心玻璃棉管壳。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。高1效率的设计和高1效率设备需要很大的前期投入。
无尘车间洁净度测试方法主要有以下三种：
一、空态检测方法
指的是无尘车间系统已处在一切正常的运转状态，但工艺设备以及工作人员还未进入到无尘车间的情况下检测的。
二、动态检测方法
指的是无尘车间系统已处在一切正常的运转状态，但工艺设备与工作人员都已进入无尘车间工作的情况下开展检测的。
三、静态检测方法
指的是无尘车间系统已处在一切正常的运转状态，而且工艺设备已经安装完成但未正常运转，车间内也没有工作人员的情况下开展检测的。
在一个防火区内的综合性厂房，其洁净生产与一般生产区域 之间应设置非燃烧体隔墙封闭到顶。隔墙及其相应顶板的耐火极限不应1小 时，隔墙上的门窗耐火极限不应0．6小时。无尘车间风量和风速的检测方法：无尘车间工程项目在竣工完成之后，需要由乙方相关人员对整个无尘车间的通风系统进行风量检测和风速检测。穿过隔墙或顶板的管线周围空隙 应采用非燃烧材料紧密填塞。技术竖井井壁应为非燃烧体，其耐火极限不应1小时。无尘车间每一生产层、每一防火分区或每一洁净区的安全出 口的数量，均不应少于两个。
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