洁净室检测之静电检测与验收
1.于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处，测量该位置之空气中正离子与负离子的含量，单位是每立方厘米离子数。测量点数： 10 个，或由业主自己决定。在同一位置做残余电压测试。
1、天棚和墙、柱面装饰工程在完成后应按电子行业标准SJ/T10694规定方法和下列项目进行性能检测：
A.天棚和墙、柱面装饰的罩面板必须选用静电
实验室洁净室
洁净室检测之静电检测与验收
1.于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处，测量该位置之空气中正离子与负离子的含量，单位是每立方厘米离子数。测量点数： 10 个，或由业主自己决定。在同一位置做残余电压测试。
1、天棚和墙、柱面装饰工程在完成后应按电子行业标准SJ/T10694规定方法和下列项目进行性能检测：
A.天棚和墙、柱面装饰的罩面板必须选用静电耗散材料制成，罩面板的表面电阻值应为1.0×105～1.0×1010Ω，一级标准的上限应小于1.0×108Ω，二级标准的上限应小于1.0×109Ω。一般抹灰墙面或罩面板使用非静电耗散材料制成，其表面必须涂刷防静电涂层，涂层材料应符合静电耗散材料性能标准。
B.防静电地面的面层结构和用料应符合下列基本要求：
a.防静电地面的表层应是静电耗散性的材料，其表面电阻率应为1.0×105～1.0×1012Ω/□；或体积电阻率为1.0×104～1.0×1011Ω.cm。一级标准防静电地面的表层材料，其表面电阻率的上限应小于1.0×109Ω/.cm；或体积电阻率的上限应小于1.0×108Ω.cm。而且还应对材料进行静电衰减的量化检验，半衰期应小于0.5s。
b.防静电地面应有导静电泄放措施和接地构造，其地面对地泄放电阻值应为1.0×105～1.0×109Ω。一级标准防静电地面对地泄放电阻值的上限应不小于1.0×107Ω；二级标准防静电地面对地泄放电阻值的上限应不小于1.0×108Ω。
洁净室发生火灾的危害：
洁净室处于密封状态，若发生火灾，烟气热量积聚，从送风管道等蔓延途径众多。由于洁净室少门窗，发生火灾时烟气不会流出洁净室外，并对洁净室内部人员的呼吸造成障碍，而且不容易被外界发现，进行施救。火灾产生的热量也不易向外界扩散，造成热量剧增，火势从送风管道、电气线路套管等蔓延，很有可能造成重大事故。
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