金刚石线切割设备
金刚石线切割设备成为研究和发展的主流趋势，本文介绍国外硅片切割设备研究的新进展以及国内发展状况，并介绍笔者参与研制的金刚石环形线锯机的功能、特点和设计心得体会及金刚石单线和环线切割机应用前景展望。
目前，硬脆性材料，如单晶硅、多晶硅、宝石、玻璃、陶瓷等，具有优良、稳定的物理和化学性能(如抗腐蚀性、电绝缘性,损性等)，在电子、光学及其它领域得到广泛应用、，特别是单晶硅、
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金刚石线切割设备
金刚石线切割设备成为研究和发展的主流趋势，本文介绍国外硅片切割设备研究的新进展以及国内发展状况，并介绍笔者参与研制的金刚石环形线锯机的功能、特点和设计心得体会及金刚石单线和环线切割机应用前景展望。
目前，硬脆性材料，如单晶硅、多晶硅、宝石、玻璃、陶瓷等，具有优良、稳定的物理和化学性能(如抗腐蚀性、电绝缘性,损性等)，在电子、光学及其它领域得到广泛应用、，特别是单晶硅、多晶硅、陶瓷材料被广泛用于太阳能光伏产业、半导体、真空电镀等高精端产业中。进给速度过快的调整：当切割过程中金刚石线很快出现弧度，说明所选用的切割速度过快，因此要进行适当减小，切割过程中继续观察，直到调整到适于切割的速度为止，这样可尽可能降低设备和金刚石线的损耗程度，提高切割速率。伴随半导体、光伏材料技术的发展，需求量不断增加，切割加工量大幅增长，由于硬脆材料硬度高、脆性大，因此加工难度较大。
金刚线切割技术
金刚线切割技术也被称为固结磨料切割技术。它是利用电镀或树脂粘结的方法将金刚石磨料附着在钢线表面，将金刚线直接作用于硅棒或硅锭表面产生磨削，达到切割的效果。
金刚线切割具有切割速度快，切割精度高，材料损耗低等特点。切割线的技术突破是硅片加工成本下降的重要途径。金刚石线切割速度是普通钢线的2 倍，因此单位产量的折旧、人工和能源成本将降低一半。
线切割设备
切割液
金刚线切割设备使用的切割液主要作用是冷却，所以主要采取冷却水或油基冷却。使用水做切割液可以混合部分粘合剂，减轻清洗工序工作强度；另一个作用是切损硅料容易回收。伴随半导体、光伏材料技术的发展，需求量不断增加，切割加工量大幅增长，由于硬脆材料硬度高、脆性大，因此加工难度较大。油基冷却主要是乙二醇做切割液，原理上乙二醇基的切割方法也有助于硅料的回收，但是需要相对复杂的化学方法处理，提高了回收成本。
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